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반도체 결함, 사진 한 장으로 확인한다

실시간 3차원 나노소자 측정기술 개발

[산업일보]
메모리 소자 기술의 핵심은 정해진 2차원 면적에 최대한 많은 소자를 배치하는 것이다. 2차원이 한계에 부딪히자 박막을 10층 이상 겹겹이 쌓는 패키징 기술로 다층막 3차원 나노소자가 개발됐고, 초고속화·대용량화의 한계를 뛰어넘었다. 3차원 나노소자는 반도체, 플렉시블 디스플레이, IoT 센서 등 첨단분야에 널리 사용되고 있다.

반도체 결함, 사진 한 장으로 확인한다
KRISS 첨단장비측정연구소 김영식 책임연구원(왼쪽)팀이 3차원 나노소자를 측정하고 있다.


소자 성능이 향상되는 만큼 공정 기술의 복잡도 또한 올라가게 돼 제품의 불량률이 높아지고 있다. 그러나 아직 현장에서는 실시간이 아닌 완성품 중 일부를 파괴해 검사하는 방식을 주로 사용한다. 비파괴 검사는 측정 과정이 오래 걸리고 외부 진동과 같은 환경 변화에 취약해 현장에서 쓸 수 없기 때문이다.

불량을 제때 검출하지 못하면 수조 원대의 리콜 사태가 빚어질 수 있는 만큼 빠르고 정확한 측정이 필요한 시점이다. 현재는 이러한 문제로 3차원 나노소자의 생산성이 떨어지고 단가가 상승하고 있다.

이에 한국표준과학연구원(이하 KRISS)이 첨단 반도체나 디스플레이의 내부 결함을 이미지 한 장만으로 검사하는 데 성공했다.

KRISS 첨단측정장비연구소 김영식 책임연구원팀은 3차원 나노소자의 구조와 특성을 생산라인에서 즉각 파악할 수 있는 측정기술을 개발했다. 1 초라도 늦어지면 생산량에 큰 영향을 끼치는 제조공정에서 지연 없이 불량을 검출해 제품의 품질 경쟁력을 높일 것으로 전망된다.

KRISS 김영식 책임연구원팀은 3차원 나노소자 이미지 한 장으로 두께와 굴절률을 동시에 파악할 수 있는 측정기술을 개발했다. 두께와 굴절률은 일정하게 유지해야만 소자의 수율을 확보할 수 있는 핵심적인 요소다.

연구팀은 영상분광기, 편광카메라, 대물렌즈를 하나의 시스템에 융·복합했다. 여러 번의 측정을 거친 기존의 복잡한 과정을 한 번의 측정으로 해결했으며, 공간분해능을 10배 이상 향상시켰다.

나노소자가 생산라인에 설치된 측정장비를 통과하면 장비의 대물렌즈에 특정 간섭무늬가 생성된다. 무늬가 영상분광기와 편광카메라를 통해 분석되면 다양한 입사각과 파장, 그리고 편광상태에 따른 반사율 및 위상 정보를 동시에 얻을 수 있는데, 이 정보들로 최종적인 두께와 굴절률 값을 산출하게 된다.

그동안 소자의 비파괴 검사기술은 외부 영향이 적은 연구실에서만 제한적으로 사용했으나, 생산라인에 쉽게 장착해 빠르게 검사할 수 있는 이번 기술을 통해 산업현장에도 적용할 수 있게 됐다. 무엇보다 제대로 이루어지지 못했던 첨단소자의 두께 관리가 가능해져 품질 면에서 큰 이점을 갖게 될 것으로 보인다.

KRISS 김영식 책임연구원은 “일본 수출규제에 따른 국산 측정장비의 자립화는 물론 첨단소자의 수율 확보에도 기여할 수 있는 기술”이라며 “3차원 반도체, 차세대 디스플레이 등 국가 경쟁력 확보와 직결되는 최첨단 산업에 필수적인 장비가 될 것이다”라고 말했다.
김진성 기자 weekendk@kidd.co.kr

안녕하세요~산업1부 김진성 기자입니다. 스마트공장을 포함한 우리나라 제조업 혁신 3.0을 관심깊게 살펴보고 있으며, 그 외 각종 기계분야와 전시회 산업 등에도 한 번씩 곁눈질하고 있습니다.

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