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종기원, SEDEX 2021에서 12인치 반도체 테스트베드 구축 알려

국내 반도체 소부장 기업들이 품질검사에 대한 갈증 해소할 것

종기원, SEDEX 2021에서 12인치 반도체 테스트베드 구축 알려

[산업일보]
나노종합기술원(이하 종기원)이 12인치 반도체 테스트베드를 구축하고, 지난 3월부터 본격적으로 국내 반도체 소부장 기업들의 테스트서비스를 제공하고 있다.

27일부터 29일까지 삼성동 코엑스에서 개최 중인 반도체대전(SEDEX : Semiconductor Exhibition 2021, 세덱스)에 참가한 종기원은 반도체 테스트베드 구축을 통한 테스트 서비스 제공 및 장비구축현황 등을 참가 기업 및 참관객들에게 소개했다.

국내 반도체 소부장 기업들은 일본 수출규제 이전에도 대기업 생산 환경과 유사한 12인치 테스트베드가 없어, 삼성전자, SK하이닉스 등 대기업들이 요구하는 수준의 평가결과를 획득하는데 많은 어려움을 겪었다.

이에 대부분의 중소기업들은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.

종기원 임성규 책임은 “현재 12인치 테스트베드에는 포토공정, 식각공정, 박막공정, 측정계측 공정이 있으며, ArF Immersion Scanner(불화아르곤 미세축소 투영시스템) 등을 비롯해 공정별로 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 장비인프라를 갖춰 국내 소부장기업들이 반도체 핵심 소재(감광제 등)와 장비 개발에 집중할 수 있도록 지원하고 있다.”고 말했다.

임 책임은 “테스트베드가 갖춰져서 국내 소부장 기업들의 어려움을 해소할 수 있어서 다행이라는 생각과 함께 국내 테스트장비의 개발도 절실하다는 생각이 든다."며 "국내 기업이 제작한 반도체 테스트 장비도 있지만 대부분은 해외 기업들이 제조한 장비로, 관련 장비를 개발하기 위한 정책적 지원이 요구된다.”고 덧붙였다.
종기원, SEDEX 2021에서 12인치 반도체 테스트베드 구축 알려
김원정 기자 sanup20@kidd.co.kr

제조기업 강국이 되는 그날까지, 공장자동화 스마트팩토리에 대한 뉴스를 기획·심층 보도하겠습니다.

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