[SEDEX 2021] 한국미쓰도요, 반도체 샤워헤드 고속 측정 솔루션 '첫선'

[산업일보]
최근 기술의 진화가 빠르다. 자동차의 전장화나 5G 통신, IoT 기술의 발전은 그 어느 때 보다 혁신을 거듭하고 있다.

반도체 시장은 전기차 생산을 위한 생산 공정 이동, 5G 상용화를 통한 다양한 서비스 확대, 데이터 센터를 위한 설비 투자 회복 등의 영향으로 인해 회복 징조를 보이고 있다. 또한, 이러한 성장은 계속해서 증가할 것으로 예상되며, 수요 확대에 맞춘 양산을 요구하고 있다.

지난 10월 27일부터 29일까지 3일간 개최한 반도체대전 ‘SEDEX(세덱스) 2021’에 참가한 한국미쓰도요는 CNC 3차원 측정기 MiSTAR 555와 CNC 화상 측정기 퀵 비전 시리즈를 참관객에게 첫선을 보였다. 빠르게 변화하는 반도체 업계에 적합한 현장형 측정기라는 설명도 함께했다.

전시 현장에서 만난 한국미쓰도요의 담당자는 “이러한 기술 혁신 및 산업 구조의 스피드에 대응할 수 있도록 화상 측정기가 요구하는 모든 고속화에 주력하고 있다"라고 밝혔다.

특히, 이번 전시회에서는 주력 제품인 미쓰도요의 화상 측정기 퀵 비전 시리즈를 직접 시연했다. 고정도 측정에 대응하는 본체 구조와 고성능 오토 포커스 기능, 융합형 하이 퍼포먼스 기술로 실현하는 3D 비접촉 측정 방식 등 업계의 니즈를 반영한 기술을 선보였다.

한국미쓰도요 홍경표 과장은 “전시된 퀵 비전 스트림 플러스(STREAM Plus) 장비는 카메라로 확대를 해서 측정이 가능하며, 논스톱 측정 기능을 통해 반도체 샤워헤드 부분을 신속하게 측정 할 수 있다. 반도체를 넘어 자동차 부품, 의료기기 분야까지 확장성을 갖췄다”라고 설명했다.

홍경표 과장은 "본체의 구동과 측정 카메라의 스트로브 동기화를 통한 고속 측정으로 반도체 제조 향상을 서포트한다. 예를 들어, 반도체 제조에 필수적인 샤워헤드에 있는 다수의 구멍 치수나 이물질 혼입을 스테이지 정지 없이 측정할 수 있기 때문에, 전체 측정 시간을 대폭 단축할 수 있다"라고 부연했다.