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![[포토뉴스]반도체 공정 '필수', 화학 약품 공급장치 등장](http://pimg3.daara.co.kr/kidd/photo/2024/02/02/thumbs/thumb_520390_1706853728_26.jpg)
'세미콘 코리아 2024' 한양이엔지 부스
![[포토뉴스]반도체 공정 '필수', 화학 약품 공급장치 등장](http://pimg3.daara.co.kr/kidd/photo/2024/02/02/thumbs/thumb_520390_1706853730_45.jpg)
반도체 화학약품 중앙 공급 장치 모형
[산업일보]
첨단산업 종합 엔지니어링솔루션 기업 한양이엔지가 ‘세미콘 코리아 2024’에서 반도체 화학 약품 중앙 공급 장치를 소개했다.
한양이엔지 관계자는 “'반도체 화학 약품 중앙 공급 장치'는 반도체 공장 내부에서 다양한 화학 약품을 중앙에서 필요한 부분으로 공급하는 설비”라면서 “저장 탱크, 운송 유닛, 분배 유닛, 폐액 회수 탱크 등으로 구성됐다”라고 설명했다.
또한 “반도체 공장은 산류, 알칼리, 솔벤트 등 다양한 화학 약품을 사용하고, 그 규모도 6~7층에 달하기 때문에 화학 약품 공급장치는 필수적으로 들어간다”라고 덧붙였다.
한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 삼성동 코엑스 전관에서 지난달 31일부터 이달 2일까지 진행됐다.
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