7월 과학기술자상에 한국과학기술원 최양규 교수 선정 3차원 극소형 나노전자 소자 개발 한국과학기술원의 최양규 교수가 3차원 극소형 나노전자 소자를 개발한 공로를 인정받아 과학기술부와 한국과학재단의 ‘이달의 과학기술자상’ 7월 수상자로 선정됐다. 최양규 교수팀은 나노종합팹센터(소장 이희철)와 테라비트(1,012Bit, 1조개의 비트)급 차세대 반도체 소자에 적용 가능한 3차원 ‘나노전자 소자(FinFET)’를 공동 개발하는 데 성공했다. 이번에 공동 개발된 나노전자 소자는 상온에서 동작할 수 있는 소자의 물리적 한계인 1.5나노미터(nm)에 근접한 극한의 소자로서, 전류통로를 열고 닫는 역할을 하는 게이트가 전류통로 전체를 감싸고 있는 새로운 형태의 3차원 구조로 성인 머리카락 굵기의 4만분의 1에 해당하는 3nm 전계효과 트랜지스터이다. 이것은 초고속 프로세서나 테라비트급 DRAM, SRAM, 플래시 메모리 소자로 응용이 가능하며, 휴대인터넷, 동영상 회의, 옷처럼 입을 수 있는 컴퓨터 등의 차세대 정보처리 기기의 필수부품으로 사용될 것으로 전망된다.최 교수의 이 연구 결과는 실리콘 기술만으로도 5nm급 이하 소자 구현이 가능해 기존의 실리콘 반도체 기술의 한계를 일보 진전시켰다는 평가를 받고 있다. 최 교수는 이번에 발표한 3차원 극소형 반도체 소자의 모태가 되는 나노전자 소자 연구의 선구자로서 공정 최적화, 소자 구조 최적화 및 신뢰성 평가에 이르기까지 관련 분야 전체에서 종합적이면서 입체적인 연구를 수행해 왔고, 국제전자공학회(IEEE) 산하 학술지에 다수의 논문을 발표했다.미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)$$$$$

7월 과학기술자상에 한국과학기술원 최양규 교수 선정

3차원 극소형 나노전자 소자 개발

기사입력 2006-07-05 14:10:03

[산업일보]
한국과학기술원의 최양규 교수가 3차원 극소형 나노전자 소자를 개발한 공로를 인정받아 과학기술부와 한국과학재단의 ‘이달의 과학기술자상’ 7월 수상자로 선정됐다.

최양규 교수팀은 나노종합팹센터(소장 이희철)와 테라비트(1,012Bit, 1조개의 비트)급 차세대 반도체 소자에 적용 가능한 3차원 ‘나노전자 소자(FinFET)’를 공동 개발하는 데 성공했다.

이번에 공동 개발된 나노전자 소자는 상온에서 동작할 수 있는 소자의 물리적 한계인 1.5나노미터(nm)에 근접한 극한의 소자로서, 전류통로를 열고 닫는 역할을 하는 게이트가 전류통로 전체를 감싸고 있는 새로운 형태의 3차원 구조로 성인 머리카락 굵기의 4만분의 1에 해당하는 3nm 전계효과 트랜지스터이다. 이것은 초고속 프로세서나 테라비트급 DRAM, SRAM, 플래시 메모리 소자로 응용이 가능하며, 휴대인터넷, 동영상 회의, 옷처럼 입을 수 있는 컴퓨터 등의 차세대 정보처리 기기의 필수부품으로 사용될 것으로 전망된다.

최 교수의 이 연구 결과는 실리콘 기술만으로도 5nm급 이하 소자 구현이 가능해 기존의 실리콘 반도체 기술의 한계를 일보 진전시켰다는 평가를 받고 있다.

최 교수는 이번에 발표한 3차원 극소형 반도체 소자의 모태가 되는 나노전자 소자 연구의 선구자로서 공정 최적화, 소자 구조 최적화 및 신뢰성 평가에 이르기까지 관련 분야 전체에서 종합적이면서 입체적인 연구를 수행해 왔고, 국제전자공학회(IEEE) 산하 학술지에 다수의 논문을 발표했다.

미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)

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