니쿠니, 플라스틱부품 박막장치 개발 금형, 사출성형기 가동상황에서 1분만에 성막 가능 일본의 니쿠니는 대기압 1파스칼의 저진공 영역에서 단시간내 스퍼터링하는 박막성막(薄膜成膜)장치 ‘NEC T’를 개발, 출시한다고 밝혔다.이 장치는 플라스틱부품 양산에 있어 종전의 금형과 사출성형기를 사용한 상태에서 1분 정도의 단시간에 성막(成膜)할 수 있는 것이 특징이다.판매가는 3,5000만~5,000만엔으로, 자동차 관련기업을 중심으로 첫해에 5~10세트가 팔릴 것으로 전망하고 있다.‘NEC T’는 용적 230ℓ의 챔버, 펌프 2대가 갖춰진 진공유니트, 직류(DC)와 고주파전원을 채택한 전원유니트 등으로 구성되어 있다. 또 기존 설비인 사출성형기 옆에 설치해 복수공정을 하나로 모아, 거리를 단축하고 작업자가 사이에 끼는 것을 없앴으며, 성형기에서 수지나 금속 부품을 로봇(옵션)이 운반해 챔버 내 지그에 붙일 수 있도록 설계됐다. 챔버 내부는 진공유니트로, 5파스칼에서 1파스칼로 압력을 낮추는데 걸리는 시간은 30초이며, 10초간 스퍼터링으로 성막하는 구조로 되어 있다.공기 중의 수증기 흡수 전에 부품을 성막할 수 있고, 대폭적인 공정집약으로 오염원인을 감소시켰으며, 성막불량률을 0.5% 이하로 낮춘 것도 강점이다. 아울러 저진공에 대응할 수 있도록 설계되었기 때문에 대형진공 챔버나 고진공펌프, 세정기, 건조기 등의 설비가 필요없다.또한 총전기소비량이 종전에 비해 20분의 1에 불과하며, 성형과 성막을 동기화시킬 수 있어 생산성을 높일 수 있다. 윤공석 기자 ksy@kidd.co.kr$$$$$

니쿠니, 플라스틱부품 박막장치 개발

금형, 사출성형기 가동상황에서 1분만에 성막 가능

기사입력 2009-09-16 09:38:21

[산업일보]
일본의 니쿠니는 대기압 1파스칼의 저진공 영역에서 단시간내 스퍼터링하는 박막성막(薄膜成膜)장치 ‘NEC T’를 개발, 출시한다고 밝혔다.

이 장치는 플라스틱부품 양산에 있어 종전의 금형과 사출성형기를 사용한 상태에서 1분 정도의 단시간에 성막(成膜)할 수 있는 것이 특징이다.

판매가는 3,5000만~5,000만엔으로, 자동차 관련기업을 중심으로 첫해에 5~10세트가 팔릴 것으로 전망하고 있다.

‘NEC T’는 용적 230ℓ의 챔버, 펌프 2대가 갖춰진 진공유니트, 직류(DC)와 고주파전원을 채택한 전원유니트 등으로 구성되어 있다.

또 기존 설비인 사출성형기 옆에 설치해 복수공정을 하나로 모아, 거리를 단축하고 작업자가 사이에 끼는 것을 없앴으며, 성형기에서 수지나 금속 부품을 로봇(옵션)이 운반해 챔버 내 지그에 붙일 수 있도록 설계됐다.

챔버 내부는 진공유니트로, 5파스칼에서 1파스칼로 압력을 낮추는데 걸리는 시간은 30초이며, 10초간 스퍼터링으로 성막하는 구조로 되어 있다.

공기 중의 수증기 흡수 전에 부품을 성막할 수 있고, 대폭적인 공정집약으로 오염원인을 감소시켰으며, 성막불량률을 0.5% 이하로 낮춘 것도 강점이다. 아울러 저진공에 대응할 수 있도록 설계되었기 때문에 대형진공 챔버나 고진공펌프, 세정기, 건조기 등의 설비가 필요없다.

또한 총전기소비량이 종전에 비해 20분의 1에 불과하며, 성형과 성막을 동기화시킬 수 있어 생산성을 높일 수 있다.

윤공석 기자 ksy@kidd.co.kr

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