전자 측정장비 솔루션 개발 업체인 키슬리 인스트루먼츠가 반도체 전후 공정에 사용되는 두종류의 신제품을 10일 발표했다.
마크허스틴 경영관리 부사장은 "키슬리의 3세대 소스-측정기술이 적용된 시리즈 2600은 테스트 스크립트 프로세서(test script processor, TSP)가 적용돼 업계 최고의 처리속도를 자랑한다"고 말했다. 그는 또 확장성이 뛰어난 SMU(source measurement unit) 채널을 최대 16개까지 시스템에 끊김없이 통합할 수 있어 ATE 시스템 구축에 이상적이라고 설명했다.
이 장비는 싱글 채널 형태의 2601모델과 듀얼채널 형태의 2602모델로 구성돼 있다.
이와 함께 발표된 반도체 웨이퍼 상태에서의 RF(고주파) 옵션 측정기술이 적용된 장비는 자동적으로 실시간 측정돼 품질 모니터링이 가능하다.
키스리인스트루먼츠 양웅모 한국지사장은 “RF 옵션 측정기술은 전세계 200mm 및 300mm 제조 팹으로부터 파라메트릭 프로세스 제어용으로 품질을 인정받은 업계 유일의 테스트 시스템”이라고 말했다.
미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)