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MKS는 반도체 장비제조, 플랫 패널 디스플레이의 씬필름 제조 등 공정에 필요한 프로세스 컨트롤 솔루션을 전세계로 공급하는 기업이다.
MKS의 잔여가스 측정기 Vision 1000-C는 저진공 상태를 유지하며 반도체 챔버(Chamber) 내 가스 농도를 체크하는 제품이다.
CVD 공정에 사용되며, UHV, 악셀러레이터, 고온이나 이온방사 상태, R&D 등에 광범위하게 적용할 수 있다.
미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)
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