에드몬드 옵틱스(Edmund Optics®), UltraFast Innovations와 협력키로 극자외선 아토초 광학 접근성 향상 도모 글로벌 광학 부품 제조 기업 에드몬드옵틱스(Edmund Optics®)는 UltraFast Innovations GmbH(UFI®)와 제휴해 UFI의 극자외선(EUV) 아토초 다중 미러(Attosecond Multilayer Mirror)의 독점 공급 계약을 맺었다. 원자 두께의 코팅층으로 설계 및 생산한 이 미러는 파장/에너지, 스펙트럼 위상 및 고효율 측면에서 상당히 높은 정밀도를 필요로 한다. 7일 레이저 광학 부품 제조업체인 UltraFast Innovations와 에드몬드 옵틱스에 따르면, 초고속 EUV 시스템은 자유 전자 레이저(FEL) 및 기타 양자 광학 응용 분야에서 중요성이 커지고 있다. 이 같은 추세를 반영, UFI EUV Attosecond Multilayer Mirrors는 아토초 펄스를 조정, 포커싱, 형상을 위해 설계했다고 설명했다. 다층 코팅은 6eV(1.8nm) 대역폭으로 65eV(19nm) 중심에 있으며 s-편광에 대해 38%의 피크 반사율을 제공한다. 이 미러는 330 아토초(attoseconds)의 시간 지속 시간을 갖춘 EUV 펄스를 지원한다. 아토초 펄스 생성 및 고조파 생성(HHG)을 기반으로 하는 성형에 이상적이다.아토초 EUV 미러와 같은 복잡한 초고속 광학 제품은 맞춤 설계가 필요하고 소량의 경우 가격과 긴 리드 타임이 필수로 수급이 어려웠다. 에드몬드옵틱스와 UFI 파트너십을 통해 미러 재고를 갖춰 전세계적으로 사용 보급이 가능해졌다. 결함이 난 시스템을 신속하게 수리하고 시스템 프로토타이핑을 위한 새로운 아이디어를 빠르게 탐색할 수 있고, 연구를 통한 개발 속도 향상은 물론, 비용과 리드 타임을 감소시킨다.

에드몬드 옵틱스(Edmund Optics®), UltraFast Innovations와 협력키로

극자외선 아토초 광학 접근성 향상 도모

기사입력 2022-03-07 15:17:28

[산업일보]
글로벌 광학 부품 제조 기업 에드몬드옵틱스(Edmund Optics®)는 UltraFast Innovations GmbH(UFI®)와 제휴해 UFI의 극자외선(EUV) 아토초 다중 미러(Attosecond Multilayer Mirror)의 독점 공급 계약을 맺었다.

원자 두께의 코팅층으로 설계 및 생산한 이 미러는 파장/에너지, 스펙트럼 위상 및 고효율 측면에서 상당히 높은 정밀도를 필요로 한다.

7일 레이저 광학 부품 제조업체인 UltraFast Innovations와 에드몬드 옵틱스에 따르면, 초고속 EUV 시스템은 자유 전자 레이저(FEL) 및 기타 양자 광학 응용 분야에서 중요성이 커지고 있다.

이 같은 추세를 반영, UFI EUV Attosecond Multilayer Mirrors는 아토초 펄스를 조정, 포커싱, 형상을 위해 설계했다고 설명했다.

다층 코팅은 6eV(1.8nm) 대역폭으로 65eV(19nm) 중심에 있으며 s-편광에 대해 38%의 피크 반사율을 제공한다. 이 미러는 330 아토초(attoseconds)의 시간 지속 시간을 갖춘 EUV 펄스를 지원한다. 아토초 펄스 생성 및 고조파 생성(HHG)을 기반으로 하는 성형에 이상적이다.

아토초 EUV 미러와 같은 복잡한 초고속 광학 제품은 맞춤 설계가 필요하고 소량의 경우 가격과 긴 리드 타임이 필수로 수급이 어려웠다. 에드몬드옵틱스와 UFI 파트너십을 통해 미러 재고를 갖춰 전세계적으로 사용 보급이 가능해졌다.

결함이 난 시스템을 신속하게 수리하고 시스템 프로토타이핑을 위한 새로운 아이디어를 빠르게 탐색할 수 있고, 연구를 통한 개발 속도 향상은 물론, 비용과 리드 타임을 감소시킨다.

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김우겸 기자 kyeom@kidd.co.kr

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국제산업부 김우겸 기자입니다. 산업인들을 위한 글로벌 산업 트렌드와 현안 이슈에 대해 정확하면서도 신속히 보도하겠습니다.