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나노기술연구 및 사업개발지원에 핵심인프라 제공

EVG의 EVG520IS 시스템 NNFC에 공급

나노기술연구 및 사업개발지원에 핵심인프라 제공


[산업일보]
MEMS, 나노기술, 반도체웨이퍼본딩 및 리소그래피장비분야의 선도적인 공급업체인 EV그룹(이하 EVG)가 한국나노종합기술원(이하 NNFC)에 고진공 EVG520IS 반자동웨이퍼본딩 시스템을 공급했다고 밝혔다.

한국과학기술원 계열의 NNFC는 이미 EVG520IS 웨이퍼본더를 보유 중이며, 첨단 MEMS 연구 및 파운드리서비스를 위해 사용하고 있다.

NNFC 나노기술연구소팀장 김희연 박사는 “NNFC의 비전은 세계 최고 수준의 나노기술연구 및 사업개발지원에 필요한 핵심 인프라를 제공하는 것이다. 그 목적에 달성하기 위해서는 실리콘 CMOS, 바이오칩기술, 나노재료 및 MEMS를 포함한 우리의 핵심연구 영역과 파운드리서비스를 지지할 수 있는 최첨단 공정기술을 보유하는 것이 중요하다”고 말했다.

이어, “EVG는 첨단 MEMS R&D및 제조 가능 기술을 보유한 웨이퍼 본딩 업계의 인정받는 선도업체이다. 최근 구입한 EVG520IS 웨이퍼본더는 자사뿐 아니라 자사 파트너 및 고객 모두가 첨단 MEMS R&D및 생산에 중요한 공정기술에 보다 빠르게 접근 가능할 수 있도록 해줄 것”이라고 덧붙였다.

EVG의 폴린드너는 “EVG는 KAIST, NNFC와 같이 마이크로 전자 및 나노기술산업을 이끄는 새로운 공정 및 기술개발에서 독보적인 위치에 있는 학계 및 연구기관들과 오랜 협력관계를 가지고 있다”고 밝혔다.

또한, “이번 협력은 새로운 마이크로, 나노기술완제품과 응용개발 분야에서 우리의 공정 솔루션이 제 역할을 다할 수 있는지, 그 기회를 확인할 수 있는 전략 중 매우 중요한 부분이다. 나노기술의 개발 교육 및 상업화 촉진에 대한 미션과 비전을 함께할 수 있어 매우 기쁘게 생각한다”고 입장을 알렸다.
최시영 기자 magmacsy@kidd.co.kr

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