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일본에 본사를 둔 알박(ULVAC)은 반도체에 사용되는 펌프와 진공요소, 플랫 패널 디스플레이 등을 세계로 공급하고 있는 글로벌 기업이다.
알박의 크라이오 펌프는 TS의 온도를 영하 260도까지 냉각시킴으로써 깨끗한 진공을 얻을 수 있다.
특히 히터 내장형 크라이오 펌프는 급속재생방식으로 재생시간을 기존에 비해 30~50% 대폭 단축함으로써 생산성 향상에 기여하고, 1~2단계에서 전기히터 및 온도계의 사용으로 단시간 내 펌프의 완전한 재생을 보장한다.
펌프 내 응축 또는 흡착된 기체를 펌프 밖으로 방출함으로써 다시 한번 배출 가능한 초기 상태로 회복시키는 방식으로 조작된다.
미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)
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