기계硏, 정전기력 마이크로 패터닝 공정기술 개발 서브 마이크론급의 선폭패턴 적용 기대 12일 한국기계연구원의 프린팅공정장비팀(팀장 김동수)은 잉크를 정전기력을 이용해 마스크를 통해 기판 상에 패터닝하는 정전기력 마이크로 패턴 공정기술(ESD)을 국내 최초로 개발했다고 밝혔다. 또, 잉크젯을 응용해 10㎛ 선폭 패터닝 공정 기술을 국내 최초로 시연하는데 성공했다고 덧붙였다.개발된 정전기력을 이용한 패터닝 장치는 수㎛ 선폭의 형광물질 패터닝이 가능하다고 알려져 있으며, 서브 마이크론급의 선폭패턴 적용이 기대되고 있다. ESD기술은 과학기술부 국제공동연구과제로 미국 UCLA, 일본 RIKEN 및 동경대, 국내 고려대 의대가 참여해 총 3년 중 2년 동안 수행한 연구결과로, 공동연구진은 ESD 장비를 이용해 단백질 어레이를 미세 패턴해 줄기세포의 배양 등에 적용할 수 있다고 전했다.또한, 10㎛ 선폭의 잉크젯 응용 패터닝 기술은 PDP 전극 패턴/차세대 디스플레이/고밀도 전자회로 기판/전자종이에의 응용이 기대되고 있다.기계연의 프린팅공정장비팀 연구진은 그라비아/플렉소, 잉크젯/메탈젯, 스크린/패드/미세접촉 프린팅 등 다양한 프린팅 공정장비 기술을 전자제품에 응용하는 기술과 관련해 국내외 특허 10건을 등록하고 5건을 출원했으며, 연구결과는 국제공동 및 산·연의 자발적 연구협력을 통해 일본과 영국의 프린팅 선진국과의 기술격차를 축소 내지 동등화했다는데 의미가 크다고 평가했다.이번 실험에는 대덕밸리에 위치한 ABC나노텍(주)에서 개발한 나노 사이즈의 실버잉크가 사용됐다. 미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)$$$$$

기계硏, 정전기력 마이크로 패터닝 공정기술 개발

서브 마이크론급의 선폭패턴 적용 기대

기사입력 2006-10-12 15:51:48

▲ 한국기계연구원 프린팅공정장비팀은 정전기력 잉크젯 마이크로 패터닝 공정기술을 개발했다.

[산업일보]
12일 한국기계연구원의 프린팅공정장비팀(팀장 김동수)은 잉크를 정전기력을 이용해 마스크를 통해 기판 상에 패터닝하는 정전기력 마이크로 패턴 공정기술(ESD)을 국내 최초로 개발했다고 밝혔다. 또, 잉크젯을 응용해 10㎛ 선폭 패터닝 공정 기술을 국내 최초로 시연하는데 성공했다고 덧붙였다.

개발된 정전기력을 이용한 패터닝 장치는 수㎛ 선폭의 형광물질 패터닝이 가능하다고 알려져 있으며, 서브 마이크론급의 선폭패턴 적용이 기대되고 있다.

ESD기술은 과학기술부 국제공동연구과제로 미국 UCLA, 일본 RIKEN 및 동경대, 국내 고려대 의대가 참여해 총 3년 중 2년 동안 수행한 연구결과로, 공동연구진은 ESD 장비를 이용해 단백질 어레이를 미세 패턴해 줄기세포의 배양 등에 적용할 수 있다고 전했다.

또한, 10㎛ 선폭의 잉크젯 응용 패터닝 기술은 PDP 전극 패턴/차세대 디스플레이/고밀도 전자회로 기판/전자종이에의 응용이 기대되고 있다.

기계연의 프린팅공정장비팀 연구진은 그라비아/플렉소, 잉크젯/메탈젯, 스크린/패드/미세접촉 프린팅 등 다양한 프린팅 공정장비 기술을 전자제품에 응용하는 기술과 관련해 국내외 특허 10건을 등록하고 5건을 출원했으며, 연구결과는 국제공동 및 산·연의 자발적 연구협력을 통해 일본과 영국의 프린팅 선진국과의 기술격차를 축소 내지 동등화했다는데 의미가 크다고 평가했다.

이번 실험에는 대덕밸리에 위치한 ABC나노텍(주)에서 개발한 나노 사이즈의 실버잉크가 사용됐다.

미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)

뒤로 기사목록

산업일보 영상뉴스 모아보기

산업일보 페이스북 바로가기

산업일보 kidd@kidd.co.kr

이 기자의 다른기사 보기 >