새로운 개념의 반도체 제조공정용 온도조절장치(칠러) 개발

[산업일보]
미래창조과학부와 한국산업기술진흥협회가 선정하는 대한민국 엔지니어상의 중소기업 수상자인 (주)테키스트 한민진 부장은 단계·구간별로 온도 제어가 가능한 새로운 개념의 반도체 제조공정용 온도조절장치(칠러)를 개발, 반도체 제조장비 산업 성장에 기여한 공로를 인정받았다.

그동안 해외 선진기술 도입을 위한 여러 시도에도 불구하고 한계에 봉착한 한민진 부장은 열전소자를 이용한 온도조절장치(칠러) 연구에 매진해조절 가능 온도 범위 확대, 성능 및 내구성 향상, 소형화 등 차별화된 장치를 자체개발하고 국산화에 성공했다. 자체 제작을 통해 수입대체효과, 매출 증대 등 관련 공정장비 기업의 성장과 함께 우리나라 반도체 산업의 경쟁력 강화에 기여했다는 평을 받고 있다.

최근의 반도체 제조공정은 제조 프로세스에서 스텝별 공정의 온도제어를 다르게 하는 요구하는 경향이 커지고 있다. 일반적인 칠러는 공정 진행 중 온도변경은 불가능하다. 대응 가능한 방법으로는 칠러를 여러 대 사용해 전환 및 배합 운전하는 방식과 압축기용 냉매를 직접 열원에 공급해 냉각하는 가스식 방식만 대응이 가능한 상태였다.

공정 중 온도변환이 가능한 기술을 확보하기 위해 일본에서 선진기술을 확보하려 시도했으나 높은 로열티, 성능시현거부 등 어려움이 있었다. 이를 계기로 회사의 전폭적인 지원 아래 3년간의 연구 개발 끝에 0~80℃ 사이의 어떠한 온도도 제조공정 중에 빠르게 변환 가능한 열전소자를 이용한 스텝 칠러를 개발했다.

국내의 설비개발사들은 공정 중에 온도 전환 프로세스 사용시 특허시비에서 자유로워지게 됐으며, 이를 계기로 단순 부품개발업체로 취급받는 평판도 나아져 국내·외 반도체 제조설비기업과 기술협약을 통해 차세대 10나노 이하 급의 설비개발에 공동으로 참여하게 됐다. 아울러 2016년 스텝 칠러는 100억대 매출 증대와 수입대체 효과 창출에도 기여했다

한민진 부장은 칠러 개발 경험과 소프트웨어 개발 능력을 바탕으로 성능개량뿐 아니라 에너지 절감형 3세대 전기식 칠러 개발에도 앞장서고, 세계 최고 수준의 기술력으로 반도체 제조공정용 칠러 점유율이 확대될 수 있도록 신기술 개발과 함께 관련 특허 출원도 진행할 예정이다.

한민진 부장은 “함께 노력한 동료들과 연구개발 및 특허등록을 적극 지원해 준 회사에 감사드리며, 세계 최고수준의 기술력을 확보하고 글로벌 시장으로 진출할 수 있도록 차별화된 기술 개발을 위해 꾸준히 노력할 것”이라고 수상 소감을 밝혔다.