[포토뉴스] SEMICON KOREA 2022에서 차압식 MFC 살펴볼까 고도화되는 반도체 공정, 질량유량제어기(MFC)로 공정 수율 향상 기대 송도산업(주)은 히타치금속(Hitach Metals)의 MFC(Mass Flow Controller, 질량유량제어기) 등을 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2022에서 선보였다.이 회사 김정수 과장은 “반도체 제조공정에서 가스를 많이 사용하기 때문에 핵심 제품이라고 할 수 있다. MFC는 가스의 용량을 조절해서 일정한 용량을 공급해 주는 제품으로, 차압(Differential Pressure)을 이용한 유량 컨트롤러를 이번 전시회에 가지고 나왔다”고 말했다.한편, 이번 전시회는 9일부터 11일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최 중이다.

[포토뉴스] SEMICON KOREA 2022에서 차압식 MFC 살펴볼까

고도화되는 반도체 공정, 질량유량제어기(MFC)로 공정 수율 향상 기대

기사입력 2022-02-10 15:06:31

[산업일보]
송도산업(주)은 히타치금속(Hitach Metals)의 MFC(Mass Flow Controller, 질량유량제어기) 등을 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2022에서 선보였다.

이 회사 김정수 과장은 “반도체 제조공정에서 가스를 많이 사용하기 때문에 핵심 제품이라고 할 수 있다. MFC는 가스의 용량을 조절해서 일정한 용량을 공급해 주는 제품으로, 차압(Differential Pressure)을 이용한 유량 컨트롤러를 이번 전시회에 가지고 나왔다”고 말했다.

한편, 이번 전시회는 9일부터 11일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최 중이다.

[포토뉴스] SEMICON KOREA 2022에서 차압식 MFC 살펴볼까

고도화되는 반도체 공정, 질량유량제어기(MFC)로 공정 수율 향상 기대

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