FSAM 초음파 검사 장비
반도체 초음파 검사 모습
FSAM 초음파 검사 화면
[산업일보]
벤처기업 오랩스 주식회사(OHLABS)가 9일부터 11일까지 서울 삼성동 코엑스(COEX)에서 진행한 ‘세미콘 코리아 2022(SEMICON KOREA 2022)’에 참가해 고속 스캐닝 모듈을 접목한 초음파 검사 장비 FSAM(Fast Scanning Acoustic Microscopy)을 선보였다.
OHLABS 최재엽 실장은 “FSAM은 초음파 센서, 초음파 발생 수신기 등 주요 부품을 자체 기술력으로 2년 간 연구를 통해 개발했다”며 “기존의 다른 초음파 검사기들보다 빠른 속도를 가졌기 때문에, 반도체·디스플레이 패널·용접부 결함·비행기 동체 등 다양한 분야의 비파괴 검사 시 소요 시간을 기존보다 약 10배 단축할 수 있다”고 밝혔다.
한편, 국제반도체장비재료협회(SEMI) 주최로 3년 만에 개최한 세미콘 코리아 2022에는 약 500개사가 2천 부스 규모로 참가했다.