[포토뉴스]초음파로 디스플레이·웨이퍼 ‘말끔하게’ 유체에 초음파 실어 전달…미세 오염물질 제거 마이크로미터(μm), 나노미터(nm) 단위의 미세 공정에서 활용하는 ‘초음파 세정장비’가 ‘2023 한국디스플레이산업전시회(K-Display, 이하 전시회)’에 등장했다.흐르는 유체에 초음파를 실어 세정 대상에 전달하고, 초음파가 표면에 붙은 고착성 미세 오염물질을 제거한다. 업체 관계자는 “반도체 기판, 평판 디스플레이 등의 세정 공정에서 주로 활용하는 장비”라고 설명했다.한편, 디스플레이 산업 주요 기업부터 관련 소재‧부품‧장비까지 총망라한 이번 전시회는 서울 코엑스에서 18일까지 진행한다.

[포토뉴스]초음파로 디스플레이·웨이퍼 ‘말끔하게’

유체에 초음파 실어 전달…미세 오염물질 제거

기사입력 2023-08-18 14:23:54

[산업일보]
마이크로미터(μm), 나노미터(nm) 단위의 미세 공정에서 활용하는 ‘초음파 세정장비’가 ‘2023 한국디스플레이산업전시회(K-Display, 이하 전시회)’에 등장했다.

흐르는 유체에 초음파를 실어 세정 대상에 전달하고, 초음파가 표면에 붙은 고착성 미세 오염물질을 제거한다. 업체 관계자는 “반도체 기판, 평판 디스플레이 등의 세정 공정에서 주로 활용하는 장비”라고 설명했다.

한편, 디스플레이 산업 주요 기업부터 관련 소재‧부품‧장비까지 총망라한 이번 전시회는 서울 코엑스에서 18일까지 진행한다.

[포토뉴스]초음파로 디스플레이·웨이퍼 ‘말끔하게’

유체에 초음파 실어 전달…미세 오염물질 제거

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