반도체 챔버·펌프 관리 돕는 가스 부산물 트랩 가스 응고시켜 부산물 걸러내 반도체 공정 시 발생하는 가스의 부산물을 걸러주는 ‘트랩’이 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에 출품됐다. 이 제품은 챔버와 펌프 사이 배관에 설치된다. 가스의 어는점을 응용, 제품 내부에 열을 가한 뒤 식히는 방식으로 유로에 가스를 착상시켜 부산물이 달라붙게 한다.제품을 개발한 ㈜미래보의 조문형 과장은 “미래보의 부산물 트랩은 부산물을 걸러 펌프 등의 장비 수명을 향상시키는 역할을 한다”라며 “부산물로 가득 찬 제품은 새 제품으로 교체 후 수거해 세정한 뒤 재활용한다”라고 설명했다.그는 “트랩의 교체주기는 업체별로 선호하는 시점이 달라, 원하는 시점에 맞춰 트랩 성능을 조절할 수도 있다.”라고 말했다. 한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 코엑스 전관에서 2일까지 진행된다.

반도체 챔버·펌프 관리 돕는 가스 부산물 트랩

가스 응고시켜 부산물 걸러내

기사입력 2024-02-02 13:20:01

모형 살펴보며 설명 듣는 참관객들

[산업일보]
반도체 공정 시 발생하는 가스의 부산물을 걸러주는 ‘트랩’이 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에 출품됐다.

가스 부산물 트랩 모형

이 제품은 챔버와 펌프 사이 배관에 설치된다. 가스의 어는점을 응용, 제품 내부에 열을 가한 뒤 식히는 방식으로 유로에 가스를 착상시켜 부산물이 달라붙게 한다.

제품을 개발한 ㈜미래보의 조문형 과장은 “미래보의 부산물 트랩은 부산물을 걸러 펌프 등의 장비 수명을 향상시키는 역할을 한다”라며 “부산물로 가득 찬 제품은 새 제품으로 교체 후 수거해 세정한 뒤 재활용한다”라고 설명했다.

트랩 모형에 집중하는 참관객들

그는 “트랩의 교체주기는 업체별로 선호하는 시점이 달라, 원하는 시점에 맞춰 트랩 성능을 조절할 수도 있다.”라고 말했다.

한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 코엑스 전관에서 2일까지 진행된다.

반도체 챔버·펌프 관리 돕는 가스 부산물 트랩

가스 응고시켜 부산물 걸러내

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