반도체 제조의 효율과 안전성 향상하는 MFC 가스 유량 일정하게 제어 가능 반도체 등 제조 공정에 가스를 사용하는 여러 산업은 가스 유동에 민감하다. 자칫 큰 사고로 이어질 수 있기 때문이다.삼성동 코엑스에서 지난달 31일부터 2일까지 열린 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에는 가스 흐름을 감지하고 조절하는 MFC(Mass Flow Controller)가 등장했다. 제품을 출품한 호리바(HORIBA)의 최준영 대리는 “가스 유량은 반도체의 수율에 영향을 주고, 유속이 과해지면 환경오염 우려도 있어 일정한 흐름을 유지하는 것이 중요하다”라고 설명했다. 이 업체는 MFC뿐만 아니라 챔버 상태를 모니터링하는 장비들도 선보였다. ‘진공압력계’, ‘잔류 가스 분석계’ 등을 통해 챔버 내부의 압력, 가스와 같은 상태를 점검하는 것이다. 이를 통해 반도체의 수율 등을 확인할 수 있다. 최준영 대리는 “가스 모니터를 통해 개발 중인 챔버의 시험도 가능하다.”라고 덧붙였다.

반도체 제조의 효율과 안전성 향상하는 MFC

가스 유량 일정하게 제어 가능

기사입력 2024-02-03 09:10:17

MFC 설명 듣는 참관객들

[산업일보]
반도체 등 제조 공정에 가스를 사용하는 여러 산업은 가스 유동에 민감하다. 자칫 큰 사고로 이어질 수 있기 때문이다.

삼성동 코엑스에서 지난달 31일부터 2일까지 열린 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에는 가스 흐름을 감지하고 조절하는 MFC(Mass Flow Controller)가 등장했다.

전시된 MFC 제품군

제품을 출품한 호리바(HORIBA)의 최준영 대리는 “가스 유량은 반도체의 수율에 영향을 주고, 유속이 과해지면 환경오염 우려도 있어 일정한 흐름을 유지하는 것이 중요하다”라고 설명했다.

챔버 모니터링 제품군 설명 듣는 참관객

이 업체는 MFC뿐만 아니라 챔버 상태를 모니터링하는 장비들도 선보였다. ‘진공압력계’, ‘잔류 가스 분석계’ 등을 통해 챔버 내부의 압력, 가스와 같은 상태를 점검하는 것이다. 이를 통해 반도체의 수율 등을 확인할 수 있다.

최준영 대리는 “가스 모니터를 통해 개발 중인 챔버의 시험도 가능하다.”라고 덧붙였다.

반도체 제조의 효율과 안전성 향상하는 MFC

가스 유량 일정하게 제어 가능

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