[포토뉴스]반도체 공정 부산물 트랩…“설비 수명 향상” 텅스텐, 티타늄, 카본 등 반도체 설비 부산물 흡착…“교체 시간 최소화” ‘세미콘 코리아 2025’에 참가한 엠엠티가 반도체 제조용 트랩을 소개했다. 반도체 생산 공정에서는 텅스텐, 티타늄, 카본 등 여러 부산물이 나온다. 반도체 제조용 트랩은 이같은 공정 부산물을 포집하는 장치다. 엠엠티 관계자는 “발생하는 가스의 특성에 맞춰 트랩을 제작한다”면서 “부산물을 많이 포집할수록 다음 공정 설비에 깨끗한 가스가 전달되고, 그만큼 장비 수명이 향상된다”라고 밝혔다.부산물이 트랩 내부에 쌓이면 공정을 중단하고 교체해야 한다. 생산 중단 시간을 최소화할 수 있도록 기존 장비를 개선했다는 게 엠엠티 측의 설명이다. 엠엠티 관계자는 “배관을 잠시 우회해 장비를 중단하지 않고 트랩을 교체할 수 있다”라고 말했다. 한편, 이번 전시회는 19일부터 21일까지 삼성동 코엑스에서 열렸다.

[포토뉴스]반도체 공정 부산물 트랩…“설비 수명 향상”

텅스텐, 티타늄, 카본 등 반도체 설비 부산물 흡착…“교체 시간 최소화”

기사입력 2025-02-23 11:26:37

반도체 공정 부산물 트랩 내부 모형

반도체 공정 부산물 트랩

[산업일보]
‘세미콘 코리아 2025’에 참가한 엠엠티가 반도체 제조용 트랩을 소개했다.

반도체 생산 공정에서는 텅스텐, 티타늄, 카본 등 여러 부산물이 나온다. 반도체 제조용 트랩은 이같은 공정 부산물을 포집하는 장치다.

엠엠티 관계자는 “발생하는 가스의 특성에 맞춰 트랩을 제작한다”면서 “부산물을 많이 포집할수록 다음 공정 설비에 깨끗한 가스가 전달되고, 그만큼 장비 수명이 향상된다”라고 밝혔다.

부산물이 트랩 내부에 쌓이면 공정을 중단하고 교체해야 한다. 생산 중단 시간을 최소화할 수 있도록 기존 장비를 개선했다는 게 엠엠티 측의 설명이다. 엠엠티 관계자는 “배관을 잠시 우회해 장비를 중단하지 않고 트랩을 교체할 수 있다”라고 말했다.

한편, 이번 전시회는 19일부터 21일까지 삼성동 코엑스에서 열렸다.

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김인환 기자 kih2711@kidd.co.kr

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