자국·파손 걱정 덜어주는 ‘다공질 세라믹’ 흡착스테이지 등장 나노템 코리아, 특수 개발 소결제로 세라믹 기공률·균일도 향상 삼성동 코엑스(COEX)에서 열린 ‘2025 한국전자제조산업전(Electronics Manufacturing Korea x NEPCON KOREA)’·‘2025 오토모티브월드코리아(Automotive World Korea)’에 진공흡착 다공질 세라믹 흡착스테이지가 출품됐다. 나노템 코리아가 내놓은 이 제품은 디스플레이·반도체·PCB 기판 등 전자 제품 생산 또는 검사 시 사용된다. 세라믹 내부에 무수히 많은 기공이 있어 여러 방향으로 공기가 흐르는데, 이를 이용해 스테이지 위의 물체를 흡착·부상시킬 수 있다. 이 업체는 세라믹 분말에 특수 개발한 소결제인 ‘areoFIX’를 섞어 가마에 구워내는 식으로 기공률 40% 이상의 제품을 생산한다. 굽는 동안 소결제가 휘발되면서 기공이 생기는데, 소결제 비율이나 온도 설정 등의 노하우를 통해 균일한 크기의 기공을 형성한다는 것이다. 나노템 코리아의 서윤혁 책임연구원은 디스플레이 제품 생산 시 활용도가 높다며 “디스플레이가 점점 대면적화되고 얇아지고 있으며, 폴더블 디스플레이는 특히 민감하기 때문에 기존의 흡착 방식으로는 파손 위험이 크다”라고 설명했다. 그러면서 “선보인 다공질 세라믹의 기공 크기는 “기공 크기는 제품에 따라 2~100μm(마이크로미터) 사이로, 구멍이 작아 흡착 자국이 남지 않고 부상반송도 가능해 손상을 방지한다”라며 “디스플레이 또는 전자 소자 작업 시 정전기로 인한 피해를 막기 위한 대전 방지 기능도 있다”라고 덧붙였다. 한편, 이번 전시회는 16일부터 18일까지 코엑스 D홀에서 개최됐다.

자국·파손 걱정 덜어주는 ‘다공질 세라믹’ 흡착스테이지 등장

나노템 코리아, 특수 개발 소결제로 세라믹 기공률·균일도 향상

기사입력 2025-04-19 09:07:10

참관객이 다공질 세라믹 흡착스테이지 설명에 귀 기울이고 있다.

[산업일보]
삼성동 코엑스(COEX)에서 열린 ‘2025 한국전자제조산업전(Electronics Manufacturing Korea x NEPCON KOREA)’·‘2025 오토모티브월드코리아(Automotive World Korea)’에 진공흡착 다공질 세라믹 흡착스테이지가 출품됐다.

나노템 코리아가 내놓은 이 제품은 디스플레이·반도체·PCB 기판 등 전자 제품 생산 또는 검사 시 사용된다. 세라믹 내부에 무수히 많은 기공이 있어 여러 방향으로 공기가 흐르는데, 이를 이용해 스테이지 위의 물체를 흡착·부상시킬 수 있다.

이 업체는 세라믹 분말에 특수 개발한 소결제인 ‘areoFIX’를 섞어 가마에 구워내는 식으로 기공률 40% 이상의 제품을 생산한다. 굽는 동안 소결제가 휘발되면서 기공이 생기는데, 소결제 비율이나 온도 설정 등의 노하우를 통해 균일한 크기의 기공을 형성한다는 것이다.

나노템 코리아의 서윤혁 책임연구원은 디스플레이 제품 생산 시 활용도가 높다며 “디스플레이가 점점 대면적화되고 얇아지고 있으며, 폴더블 디스플레이는 특히 민감하기 때문에 기존의 흡착 방식으로는 파손 위험이 크다”라고 설명했다.

그러면서 “선보인 다공질 세라믹의 기공 크기는 “기공 크기는 제품에 따라 2~100μm(마이크로미터) 사이로, 구멍이 작아 흡착 자국이 남지 않고 부상반송도 가능해 손상을 방지한다”라며 “디스플레이 또는 전자 소자 작업 시 정전기로 인한 피해를 막기 위한 대전 방지 기능도 있다”라고 덧붙였다.

한편, 이번 전시회는 16일부터 18일까지 코엑스 D홀에서 개최됐다.