한국알박, 특화된 ‘진공’기술로 반도체 제조 공정 개선 나선다 잔류 가스 분석기·리크 디텍터 등 진공 관련 컴포넌트 출품 반도체를 비롯한 제조 현장에서 공기를 관리하는 것은 제품의 품질과 직결되는 중요한 사항이다. 특히 산업군에 따라 ‘진공’에서만 작업해야만 하는 제품도 있기 때문에 ‘진공 기술’은 제품의 경쟁력과 직결된다고 할 수 있다.11일 한국SEMI 주최로 서울 코엑스에서 개막해 13일까지 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가한 한국알박주식회사(이하 한국알박)는 이번 전시회에 잔류 가스 분석기와 리크 디텍터 등 진공 환경을 관리하는 데 필요한 컴포넌트 제품군을 출품했다.일본 ULVAC그룹의 지사로 1995년 설립된 한국알박은 30여 년 간 반도체와 전자, 디스플레이 분야에서 요구하는 진공기술을 지원해 왔다. 특히, 반도체 분야의 경우 DRAM과 NAND를 넘어 PCRAM, 로직, 파운드리(Foundry) 등 차세대 디바이스 시장에도 진출하고 있다.이번 전시회에서 선보인 잔류 가스 분석기의 경우 반도체 제조 및 전자기기 생산 공정에서 가스 성분과 농도를 실시간으로 모니터링하는 데 사용된다. 한국알박 관계자는 “특정 가스 성분을 고정밀로 측정해 공정 제어를 지원하고, 공정 가스 상태를 실시간으로 감시함으로써 이상을 조기에 감지해 공정을 최적화한다”고 말한 뒤 “한 번의 분석으로 여러 가스 성분을 동시에 측정할 수 있다”고 소개했다.리크 디텍터에 대해 이 관계자는 “의도치 않게 유입된 외기(外氣)의 위치를 찾아내는 장비”라고 언급한 뒤 “이번에 출품한 독립형 리크 디텍터는 내장 밸브의 자동 제어 기능을 통해 단일 장비만으로도 손쉽게 리크 테스트를 수행할 수 있다”고 설명했다.

한국알박, 특화된 ‘진공’기술로 반도체 제조 공정 개선 나선다

잔류 가스 분석기·리크 디텍터 등 진공 관련 컴포넌트 출품

기사입력 2026-02-13 16:13:23

한국알박의 잔류 가스 분석기

[산업일보]
반도체를 비롯한 제조 현장에서 공기를 관리하는 것은 제품의 품질과 직결되는 중요한 사항이다. 특히 산업군에 따라 ‘진공’에서만 작업해야만 하는 제품도 있기 때문에 ‘진공 기술’은 제품의 경쟁력과 직결된다고 할 수 있다.

11일 한국SEMI 주최로 서울 코엑스에서 개막해 13일까지 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가한 한국알박주식회사(이하 한국알박)는 이번 전시회에 잔류 가스 분석기와 리크 디텍터 등 진공 환경을 관리하는 데 필요한 컴포넌트 제품군을 출품했다.

일본 ULVAC그룹의 지사로 1995년 설립된 한국알박은 30여 년 간 반도체와 전자, 디스플레이 분야에서 요구하는 진공기술을 지원해 왔다. 특히, 반도체 분야의 경우 DRAM과 NAND를 넘어 PCRAM, 로직, 파운드리(Foundry) 등 차세대 디바이스 시장에도 진출하고 있다.

이번 전시회에서 선보인 잔류 가스 분석기의 경우 반도체 제조 및 전자기기 생산 공정에서 가스 성분과 농도를 실시간으로 모니터링하는 데 사용된다.

한국알박 관계자는 “특정 가스 성분을 고정밀로 측정해 공정 제어를 지원하고, 공정 가스 상태를 실시간으로 감시함으로써 이상을 조기에 감지해 공정을 최적화한다”고 말한 뒤 “한 번의 분석으로 여러 가스 성분을 동시에 측정할 수 있다”고 소개했다.