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[산업일보]
제조 장비 안에 탑재되는 수많은 부품 중 베어링은 성격상 마모로 인한 장비의 교체는 불가피하다. 아울러 마모가 이뤄지는 과정에서 제품의 품질 역시 편차가 생길 수밖에 없다.
2005년 설립된 RPS(알피에스)는 볼베어링과 에어베어링 전문 기업으로 성장한 기업으로, 특히 에어베어링을 반도체 제조 공정에 적극 공급하면서 반도체의 품질 향상을 지원해 왔다.
한국SEMI 주최로 11일부터 13일까지 서울 코엑스에서 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가한 알피에스는 자사가 보유하고 있는 에어베어링 기술이 반도체 산업에 어떤 형태로 적용되는 지를 관람객들에게 소개했다.
에어베어링은 압축 공기를 미세한 분사홀 또는 다공성 재질을 통해 분출함으로써 두 물체 사이에 균일한 공기막을 형성해 부상(floating) 상태를 유지한다. 마찰이 없기 때문에 마모와 진동이 없고 초고속 회전이 가능하다는 것이 특징이다.
알피에스는 이러한 에어베어링 기술을 적용한 실린더 제품을 개발‧공급하고 있다. 알피에스 측 관계자는 “빠른 반응 속도와 높은 정밀도의 컨트롤이 가능하며, 에어 블로잉과 석션까지 가능하다”고 언급했다.
이 관계자의 설명에 따르면, 에어베어링 실린더는 반도체의 제조 및 검사 공정에 사용되며, 고객의 요구에 따라 커스터마이징된 제품도 제작할 수 있다.
“에어베어링을 적용할 때 단가만 생각하면 다소 비싸다고 느낄 수 있다”고 전제한 이 관계자는 “별도의 유지보수가 필요하지 않다는 점과 공정의 개선 등을 생각하면 투자의 가치가 있을 것”이라고 강조했다.
한편, 알피에스는 세계 최초로 에어베어링 초음파 스핀들이 적용된 Micro Drilling CNC Machine 개발에 성공해 반도체 에칭 공정에 사용되는 전극 미세홀 가공분야에 양산공급 하고 있다.
