[산업일보]
SEZ와 에어리퀴드(Air Liquide)는 오늘 FEOL(front-end-of-line) 금속게이트 식각 분야와 관련한 화학 물질 연구개발을 위해 상호 협력하기로 했다 밝혔다.
이에 따라 양사는 공동 연구를 통해 반도체 제조업체들이 최저 소유비용으로 최상의 성능을 얻을 수 있는 최첨단 식각 재료용 솔루션을 개발, 공급한다는 계획이다.
에어리퀴드 크리스토프 퐁텐느(Christophe Fontaine) 부사장은 “최신 공정 문제를 해결하고, 새로운 화학물질을 개발하는데 SEZ와 협력하게 돼 기쁘다"며 "이번 프로젝트를 위해 에어리퀴드는 선택 식각 재료 개발 및 ALOHA™ 제품라인 내에서 이에 대한 시장진출을 꾀하고, SEZ는 뛰어난 웨이퍼 후면 공정 기술을 제공할 것”이라고 말했다.
미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)
SEZ-에어리퀴드, 식각 솔루션 공동 개발키로
기사입력 2005-07-13 09:26:00
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