한양테크놀러지의 불크 스페셜티 가스 시스템(BSGS) 한양테크놀러지는 국내뿐만 아니라 세계 반도체 장비 시장에 가스 제조 시스템을 공급하고 있는 업체다.한양테크놀러지의 불크 스페셜티 가스 시스템(Bulk Specialty Gas System, BSGS)인 GK 2000은 스탠딩 오픈형으로 안정성이 뛰어나다. EMI/RFI를 제거해 오작동이 거의 없고, 견고한 디자인으로 설치가 자유롭다. CE 조건을 충족시킨 제품이다.이 시스템은 NH3, NF3, N20, C2F6, SF6, C3F8 가스 등 고순도 가스 공급 시스템이나 반도체 프로세스 툴에 적용된다.미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr) $$$$$

한양테크놀러지의 불크 스페셜티 가스 시스템(BSGS)

기사입력 2005-02-02 16:02:01

[산업일보]
한양테크놀러지는 국내뿐만 아니라 세계 반도체 장비 시장에 가스 제조 시스템을 공급하고 있는 업체다.

한양테크놀러지의 불크 스페셜티 가스 시스템(Bulk Specialty Gas System, BSGS)인 GK 2000은 스탠딩 오픈형으로 안정성이 뛰어나다. EMI/RFI를 제거해 오작동이 거의 없고, 견고한 디자인으로 설치가 자유롭다. CE 조건을 충족시킨 제품이다.

이 시스템은 NH3, NF3, N20, C2F6, SF6, C3F8 가스 등 고순도 가스 공급 시스템이나 반도체 프로세스 툴에 적용된다.

미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)

한양테크놀러지의 불크 스페셜티 가스 시스템(BSGS)

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