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![[세미콘코리아2005] 성원에드워드, 크기 절반으로 줄인 진공펌프 선보여](http://pimg.daara.co.kr/kidd/photo/2005/02/03/thumbs/thumb_520390_sungwon.jpg)
사진110
[산업일보]
세미콘코리아에 참가한 성원에드워드(대표 김중조)의 진공펌프에 많은 참관객이 관심을 보였다.
성원에드워드 관계자는 "기존 진공펌프에 비해 크기는 53%로 줄이고 펌핑(Pumping) 기능은 그대로 유지한 300㎜ 반도체 웨이퍼 제조공정용 진공펌프로 세미콘코리아에서 처음 공개한다"고 말했다.
반도체ㆍ디스플레이 공정용 진공펌프 전문업체인 성원에드워드는 BOC그룹이 생산기지를 통해 제조된 초고순도 반도체용 특수가스를 국내에 공급하고 있다. 특히 해외 유수 기업과의 제휴를 통해 반도체 장비와 특수가스를 연결하는 가스관련 토털서비스를 제공하고 있다.
미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)
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