[나노코리아 2020] 하이델베르크 인스트루먼트, 반도체 강국 한국에 노하우 전달한다

[산업일보]
한국이 전세계 제조업에서 강세를 보이는 분야는 다양하게 분포돼 있으나, 가장 경쟁력이 높은 분야를 꼽으라고 한다면 반도체 분야를 쉽게 떠올릴 수 있을 것이다. 최근 들어 중국‧대만 등의 추격이 매섭게 진행되고 있으나, 아직까지는 한국이 글로벌 시장에서 높은 평가를 받고 있다.

지난 3일 일산 킨텍스에서 막을 내린 ‘나노코리아 2020(NANO KOREA 2020, 이하 나노코리아)에 참가한 하이델베르크 인스트루먼트 코리아 (이하 하이델베르크 인스트루먼트)는 1984년부터 36년 간 Laser Lithography System을 전문적으로 생산해 온 하이델베르크 인스트루먼트의 한국 지사로, 2005년부터 국내 연구기관 및 산업 분야에 장비를 공급해 오고 있다.

최근 한국에 영업 조직을 신설하는 등 한국 시장에 대한 적극적 공략을 준비하고 있는 하이델베르크 인스트루먼트는 한국 지사 설립 이래 최초로 자사의 이름을 내걸고 이번 나노코리아 전시회에 참가하는 등 활발한 행보를 이어가고 있다.

하이델베르크 인스트루먼트의 김도윤 과장은 “하이델베르크 인스트루먼트의 장비는 일반 산업분야 뿐만 아니라 연구개발 분야에서 요구하는 사양을 충족시키고 있다”며, “애플이나 구글, 마이크로소프트 등 기업을 비롯해 한국의 서울대학교와 MIT‧하버드등 연구시설에 서 차세대 기술개발을 위하여 자사의 장비가 활용되고 있다”고 말했다.

“하이델베르크 인스트루먼트의 장비는 “연구 분야 중 MEMS(미세전자제어기술), 마이크로옵틱스 등 다양한 분야에서 사용되고 있다"고 말한 김 과장은 "효용성‧연구분야에서 좋은 성과를 나타내고 있다”고 언급했다.

김 과장의 설명에 따르면, 하이델베르크 인스트루먼트는 챔버를 이용한 공조시스템을 구축해 300나노미터 수준의 패턴까지 미세하면서도 정교하게 새길 수 있다. 또한, 노광을 직접 웨이퍼에 쏘이게 해 패턴을 새길 수 있어 시간과 비용 절감이 가능하다.

하이델베르크 인스트루먼트 장비의 강점인 Direct Writing System은 포토마스크 없이 직접 노광이 가능한 기능으로서 “패턴에 문제가 생길 경우 다른 업체는 다시 패턴을 수정하는 데 소요되는 시간 및 비용에 대한 부분을 우리는 신속한 대응이 가능하다”고 말한 김 과장은 “앞으로도 반도체와 관련된 전시회와 학술대회 등의 참가를 통해 하이델베르크 인스트루먼트의 스펙과 장점을 부각시키는 것은 물론 산업을 넘어 연구분야에서도 사용될 수 있는 어플리케이션을 제시할 것”이라고 향후 계획을 밝혔다.