올해 4~6월 일본 반도체 제조장비업체 실적 ‘양호’ 반도체 제조장비 관련 일본업체 전공정, 후공정 모두 강한 경쟁력 갖춰 일본 반도체 제조장비업체들이 코로나19 사태에도 불구하고 양호한 실적을 기록한 것으로 나타났다. 산업연구원(이하 KIET)에서 발표한 ‘일본 반도체 제조장비업체, 코로나19에도 실적 호조’ 보고서에 따르면, 반도체 제조공정은 웨이퍼기판 위에 회로를 그려 넣는 전공정과 회로를 칩으로 패키징하는 후공정으로 나눠진다. 전공정은 성막, 패턴 투사, 에칭(식각) 세공정을 반복한다. 전공정장비에는 CVD(화학증착장비), Asher, 식각장비, Track장비, 세정장비, 개스캐비넷, Chiller, Scrubber, 클린룸설비, 반도체 배관설비 등이 있다. 후공정장비에는 Test Handler, Chip Mounter, Burn-in System, 패키징 장비(몰딩, 트리밍, 포밍장비), 레이저 마킹 장비 등이 있다. 반도체 제조장비와 관련해 일본업체는 전공정과 후공정에서 모두 강한 경쟁력을 갖고 있고 세계시장 점유율도 높다.세계 15대 반도체 장비업체 중 일본업체가 8개나 포함돼 있다. 도쿄일렉트론(4위)은 코타&디벨로퍼, 종형로, 절연막 에칭 장비에서, 스크린홀딩스(5위)는 세정장비 분야에서, 캐논(8위)은 i선 노광장치 분야에서 세계 최고 업체로 손꼽힌다. 고쿠사이일렉트릭(10위)은 종형로와 ALD, 에바라(11위)는 CMP와 AMAT 장비, 디스코(12위)는 후공정의 다이싱 소(saw), 다이후쿠(14위)는 공장의 공정간 운반시스템, 히다치(日立)하이테크(15위)는 게이트에칭 분야에서 강한 경쟁력을 갖고 있다.코로나19의 영향에도 불구하고 올해 4~6월 일본의 반도체 제조장비업체들의 실적은 양호한 것으로 나타났다. 도쿄일렉트론은 매출액이 지난해 같은 기간 대비 45.5% 상승했으며, 스크린홀딩스는 14.9%, 디스코는 8.8%, 동경응화공업은 16.9% 증가했다. 특히 레이저테크는 매출액이 132.8% 급증했고 영업이익률도 36.4%나 됐다. 레이저테크는 반도체의 미세하고 복잡한 회로패턴을 웨이퍼에 투사할 때, 원판이 되는 마스크 기판(블랑크스)의 EUV(극자외선)용 검사장치를 생산하는 세계 유일의 기업이다.KIET 관계자는 보고서를 통해 ‘일본은 반도체 제조장비 외에도 공작기계, 정밀기기, 고기능 전자재료 등에서 세계적인 경쟁력을 가진 기업을 다수 보유하고 있다’며 ‘특히 대기업이 진출하지 않은 니치마켓에서 압도적인 점유율을 가진 ‘글로벌 니치기업’도 많이 있다. 이들은 향후 코로나19 종식 후 일본의 경제회복 과정에서 큰 힘이 될 것‘이라고 말했다.

올해 4~6월 일본 반도체 제조장비업체 실적 ‘양호’

반도체 제조장비 관련 일본업체 전공정, 후공정 모두 강한 경쟁력 갖춰

기사입력 2020-10-03 14:07:10

[산업일보]
일본 반도체 제조장비업체들이 코로나19 사태에도 불구하고 양호한 실적을 기록한 것으로 나타났다.

산업연구원(이하 KIET)에서 발표한 ‘일본 반도체 제조장비업체, 코로나19에도 실적 호조’ 보고서에 따르면, 반도체 제조공정은 웨이퍼기판 위에 회로를 그려 넣는 전공정과 회로를 칩으로 패키징하는 후공정으로 나눠진다.

전공정은 성막, 패턴 투사, 에칭(식각) 세공정을 반복한다. 전공정장비에는 CVD(화학증착장비), Asher, 식각장비, Track장비, 세정장비, 개스캐비넷, Chiller, Scrubber, 클린룸설비, 반도체 배관설비 등이 있다.

후공정장비에는 Test Handler, Chip Mounter, Burn-in System, 패키징 장비(몰딩, 트리밍, 포밍장비), 레이저 마킹 장비 등이 있다.

반도체 제조장비와 관련해 일본업체는 전공정과 후공정에서 모두 강한 경쟁력을 갖고 있고 세계시장 점유율도 높다.

세계 15대 반도체 장비업체 중 일본업체가 8개나 포함돼 있다. 도쿄일렉트론(4위)은 코타&디벨로퍼, 종형로, 절연막 에칭 장비에서, 스크린홀딩스(5위)는 세정장비 분야에서, 캐논(8위)은 i선 노광장치 분야에서 세계 최고 업체로 손꼽힌다.

고쿠사이일렉트릭(10위)은 종형로와 ALD, 에바라(11위)는 CMP와 AMAT 장비, 디스코(12위)는 후공정의 다이싱 소(saw), 다이후쿠(14위)는 공장의 공정간 운반시스템, 히다치(日立)하이테크(15위)는 게이트에칭 분야에서 강한 경쟁력을 갖고 있다.

코로나19의 영향에도 불구하고 올해 4~6월 일본의 반도체 제조장비업체들의 실적은 양호한 것으로 나타났다.

도쿄일렉트론은 매출액이 지난해 같은 기간 대비 45.5% 상승했으며, 스크린홀딩스는 14.9%, 디스코는 8.8%, 동경응화공업은 16.9% 증가했다.

특히 레이저테크는 매출액이 132.8% 급증했고 영업이익률도 36.4%나 됐다. 레이저테크는 반도체의 미세하고 복잡한 회로패턴을 웨이퍼에 투사할 때, 원판이 되는 마스크 기판(블랑크스)의 EUV(극자외선)용 검사장치를 생산하는 세계 유일의 기업이다.

KIET 관계자는 보고서를 통해 ‘일본은 반도체 제조장비 외에도 공작기계, 정밀기기, 고기능 전자재료 등에서 세계적인 경쟁력을 가진 기업을 다수 보유하고 있다’며 ‘특히 대기업이 진출하지 않은 니치마켓에서 압도적인 점유율을 가진 ‘글로벌 니치기업’도 많이 있다. 이들은 향후 코로나19 종식 후 일본의 경제회복 과정에서 큰 힘이 될 것‘이라고 말했다.