지올(JEOL)이 반도체 제조용 전자 현미경 및 전자빔 리소그래피 시스템 기술을 사용해 고출력, 고밀도, 고속의 ‘전자빔 금속 3D 프린터’인 ‘JAM-5200EBM’을 개발했다고 지난 26일 발표했다.
지올 측의 발표에 따르면, 이번에 사용된 전극은 1천500시간 이상 지속되기 때문에 전극 교체를 위한 가동중단 시간이 크게 줄어들고 생산성을 높일 수 있다.
또한, 지올의 독자적인 분말 분산 방지 시스템인 전자실드(e-Shield)가 비산 현상을 막아줘 헬륨이 없는 환경 덕분에 깨끗한 공간에서 저렴한 비용으로 부품을 제조할 수 있을 뿐만 아니라 전극 표면도 쉽게 손상되지 않아 전자빔이 안정적인 상태를 유지한다. 결과적으로 전극 수명이 다할 때까지 안정적인 제조 품질을 유지할 수 있다.
아울러, 반도체 제조용 전자 현미경 및 전자빔 리소그래피 시스템에서 개발된 기술을 활용함으로써 전자빔의 초점과 왜곡을 자동으로 조정해 제조 시 품질과 재현성을 개선한다.
이 외에도, 365일 24시간 상시 원격 모니터링 시스템을 통해 제조 및 시스템 상태를 점검할 수 있다.