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[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’
전효재 기자|storyta1@kidd.co.kr
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[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’

플라즈마 사용하는 반도체 식각·증착 공정 활용

기사입력 2024-02-04 14:07:27
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[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’

[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’
반도체 챔버 내부 다양한 특수소재

[산업일보]
반도체 챔버에서 독성 플라스마 가스를 견디는 ‘세라믹 소재’가 ‘세미콘 코리아 2024’에 나왔다.

챔버는 반도체 소자 제조 과정에서 다양한 화학반응과 물리적 처리를 수행하는 공간이다. 특히 플라스마 가스를 사용하는 식각‧증착 공정에선 플라스마에 잘 견디는 특수 소재가 필수다.

업체 관계자는 “내(耐)플라스마 특성을 갖춘 세라믹 소재와 코팅 부품을 공급한다”면서 “반도체 뿐 아니라 디스플레이, 제철, 일반 산업 분야까지 고객 요구에 맞게 필요한 소재를 공급할 수 있다”라고 밝혔다.

한편, 삼성동 코엑스에서 진행된 ‘세미콘 코리아 2024’는 2일 폐막했다.
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