[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’ 플라즈마 사용하는 반도체 식각·증착 공정 활용 반도체 챔버에서 독성 플라스마 가스를 견디는 ‘세라믹 소재’가 ‘세미콘 코리아 2024’에 나왔다.챔버는 반도체 소자 제조 과정에서 다양한 화학반응과 물리적 처리를 수행하는 공간이다. 특히 플라스마 가스를 사용하는 식각‧증착 공정에선 플라스마에 잘 견디는 특수 소재가 필수다. 업체 관계자는 “내(耐)플라스마 특성을 갖춘 세라믹 소재와 코팅 부품을 공급한다”면서 “반도체 뿐 아니라 디스플레이, 제철, 일반 산업 분야까지 고객 요구에 맞게 필요한 소재를 공급할 수 있다”라고 밝혔다.한편, 삼성동 코엑스에서 진행된 ‘세미콘 코리아 2024’는 2일 폐막했다.

[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’

플라즈마 사용하는 반도체 식각·증착 공정 활용

기사입력 2024-02-04 14:07:27

반도체 챔버 내부 다양한 특수소재

[산업일보]
반도체 챔버에서 독성 플라스마 가스를 견디는 ‘세라믹 소재’가 ‘세미콘 코리아 2024’에 나왔다.

챔버는 반도체 소자 제조 과정에서 다양한 화학반응과 물리적 처리를 수행하는 공간이다. 특히 플라스마 가스를 사용하는 식각‧증착 공정에선 플라스마에 잘 견디는 특수 소재가 필수다.

업체 관계자는 “내(耐)플라스마 특성을 갖춘 세라믹 소재와 코팅 부품을 공급한다”면서 “반도체 뿐 아니라 디스플레이, 제철, 일반 산업 분야까지 고객 요구에 맞게 필요한 소재를 공급할 수 있다”라고 밝혔다.

한편, 삼성동 코엑스에서 진행된 ‘세미콘 코리아 2024’는 2일 폐막했다.

[포토뉴스]플라즈마 가스 견디는 ‘세라믹 소재’

플라즈마 사용하는 반도체 식각·증착 공정 활용

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