반도체용 고순도 귀금속 분석방법…ISO에 신규 국제규격 제안

[산업일보]
산업자원부 기술표준원(원장 윤교원)은 반도체, 항공우주산업, 연료전지 등 차세대용 귀금속 소재로 사용되는 초고순도 금 및 백금에 수십 나노 수준의 미량불순물원소를 분석할 수 있는 4가지 신기술을 세계 최초로 개발해 국제표준화기구인 ISO에 신규 국제규격을 제안했다고 밝혔다.

이 분석방법은 "고순도 금 및 백금 중에 포함된 극미량 원소를 유도결합플라스마방출분광기 등 첨단 분석장비를 이용해 정량하는 방법으로 고가의 귀금속이 손실되는 기존의 분석방법을 개선한 기술 분석방법"이며 "특히 반도체 생산에 필수적인 세금선(gold bonding wire) 및 스퍼터링타겟(sputtering target) 분야까지 이 분석기술을 적용해 품질 확보를 할 수 있어 그간 취약한 차세대 반도체공정기술에 새로이 적용할 수 있다"고 기술표준원측은 밝혔다. 또한 반도체기술력을 자랑하는 우리나라가 고순도 귀금속 소재 분석기술을 자체 해결할 수 있게 돼 국내 반도체산업의 대외경쟁력을 한 단계 더 높일 수 있게 됐음에 자부심을 느낀다고 덧붙였다.

귀금속은 반도체 등 첨단산업발전과 산업의 고도화로 수요가 전 세계적으로 급증하고 있으며 관련제품이 점점 고순도와 고정밀도를 요구하기 때문에 높은 수준의 분석기술이 요구되나 아직 관련기술에 대한 규격화가 이뤄지지 않는 시점에, 동 분야의 최신 분석기술을 세계최초로 국제규격으로 제안함으로써 우리나라가 선진국과 어깨를 나란히 할 수 있는 계기가 될 수 있으며 앞으로도 초정밀 분석기술 확보경쟁에 참여할 수 있게 됐다.

최근 귀금속 관련 산업의 발전과 더불어 국산화가 이뤄져 수요의 90%를 국내 업체로부터 조달하고 있을 뿐만 아니라 최근엔 수출도 증가 하는 추세다.
기술표준원은 이번의 국제규격제안으로 그동안 미국, 일본, 호주의 주도로 이루어져 왔던 귀금속 평가기술의 국제표준화 부분에서 향후 한국이 선도할 수 있는 계기가 됐으며, 앞으로도 지속적으로 최신 분석기술을 개발해 KS규격화함과 동시에 국제표준제안도 확대해 나갈 계획이다.

제안규격은 '금지금의 유도결합플라스마방출분광법(주성분보정법)' '금지금의 유도결합플라스마 방출분광법(주성분제거법)' '금지금의 원자흡수분광법(주성분제거법)' '백금지금의 유도결합플라스마방출분광법(주성분보정법)' 등 4종이다.

미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)