기계硏 나종주 박사팀, 마이크로시스템용 탄소보호막 개발
마이크로 모터 및 엔진 실용화를 위한 보호막으로 활용 가능
기사입력 2005-09-09 13:16:00
[산업일보]
초소형 기계장치의 마찰을 최소화 시켜 내구성을 가질 수 있도록 하는 탄소보호막이 개발됐다.
한국기계연구원(원장 박화영) 재료기술연구소의 나종주 박사팀은 8일 다이아몬드 결합구조의 강한 박막과 흑연 결합구조의 연한 박막을 나노미터 두께로 수십~수천층의 다층 박막으로 합성해 마이크로시스템의 보호막으로 사용할 수 있는 극저마찰형 카본 박막을 개발했다고 발표했다.
나종수 박사는 “마이크로시스템의 보호막은 낮은 마찰력과 높은 내구성에 덧붙여 상대재료와 응착이 일어나지 않아야 하는데, 개발된 박막은 물에 대한 접촉각이 85도 이상으로 뛰어난 소수성을 가진데다 낮은 표면에너지로 인한 상대재와의 응착을 줄일 수 있는 장점이 있다”고 설명했다.
개발된 박막은 인가하중 5g 이하일 때 마찰계수가 0.05 이하이며, 백만회의 마모실험 후 마모깊이가 6nm 이하의 뛰어한 내구성을 보였다.
나종주 박사는 “현재 개발된 박막을 RF-MEMS 스위치의 접점재료 보호막, 정밀 소형 모터의 습동부, 글래스 렌즈용 정밀금형 보호막 등에 적용하기 위한 연구를 수행중이며, MEMS의 꽃이라고 할 수 있는 마이크로 모터, 마이크로 엔진 등의 실용화를 위한 보호막으로의 활용이 가능하다”고 밝혔다.
미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)
초소형 기계장치의 마찰을 최소화 시켜 내구성을 가질 수 있도록 하는 탄소보호막이 개발됐다.
한국기계연구원(원장 박화영) 재료기술연구소의 나종주 박사팀은 8일 다이아몬드 결합구조의 강한 박막과 흑연 결합구조의 연한 박막을 나노미터 두께로 수십~수천층의 다층 박막으로 합성해 마이크로시스템의 보호막으로 사용할 수 있는 극저마찰형 카본 박막을 개발했다고 발표했다.
나종수 박사는 “마이크로시스템의 보호막은 낮은 마찰력과 높은 내구성에 덧붙여 상대재료와 응착이 일어나지 않아야 하는데, 개발된 박막은 물에 대한 접촉각이 85도 이상으로 뛰어난 소수성을 가진데다 낮은 표면에너지로 인한 상대재와의 응착을 줄일 수 있는 장점이 있다”고 설명했다.
개발된 박막은 인가하중 5g 이하일 때 마찰계수가 0.05 이하이며, 백만회의 마모실험 후 마모깊이가 6nm 이하의 뛰어한 내구성을 보였다.
나종주 박사는 “현재 개발된 박막을 RF-MEMS 스위치의 접점재료 보호막, 정밀 소형 모터의 습동부, 글래스 렌즈용 정밀금형 보호막 등에 적용하기 위한 연구를 수행중이며, MEMS의 꽃이라고 할 수 있는 마이크로 모터, 마이크로 엔진 등의 실용화를 위한 보호막으로의 활용이 가능하다”고 밝혔다.
미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)