AKT, 8세대 PECVD 장비 개발 LCD 장비 업체 AKT는 8세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)를 개발했다고 19일 밝혔다.신제품 AKT-50K PECVD는 2160mm x 2400mm 크기의 유리기판 1장당 6장의 LCD용 52인치 평판 TV 스크린을 생산할 수 있어 이전 모델인 7세대 장비와 비교해 2배의 52인치 LCD용 평판 TV 스크린을 생산할 수 있는 능력을 가지고 있다.AKT-50K PECVD의 기판 처리능력은 연속적인 3층 복합 증착막(gate-SiNx, a-Si, n+a-Si)으로는 시간당 30장 이상의 기판을 처리할 수 있다. 회사측은 이러한 성능은 단층 증착막으로는 시간당 60장 이상의 기판을 처리할 수 있는 현존하는 가장 빠른 공정 시스템이라고 말했다.이 시스템의 핵심 기술은 AKT-APX1TM PECVD 공정 챔버 디자인에 있다. 이 기술은 플라즈마 분배를 통제해 5M2 이상의 넓은 기판에 필름 균일성을 확보할 수 있다.한편 AKT는 LCD 패널 제조사로부터 신제품에 대한 제작주문을 받았으며 2006년 초 공급될 예정이라고 밝혔다.미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)$$$$$

AKT, 8세대 PECVD 장비 개발

기사입력 2005-10-19 15:08:00

[산업일보]
LCD 장비 업체 AKT는 8세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)를 개발했다고 19일 밝혔다.

AKT-50K PECVD 이미지

신제품 AKT-50K PECVD는 2160mm x 2400mm 크기의 유리기판 1장당 6장의 LCD용 52인치 평판 TV 스크린을 생산할 수 있어 이전 모델인 7세대 장비와 비교해 2배의 52인치 LCD용 평판 TV 스크린을 생산할 수 있는 능력을 가지고 있다.

AKT-50K PECVD의 기판 처리능력은 연속적인 3층 복합 증착막(gate-SiNx, a-Si, n+a-Si)으로는 시간당 30장 이상의 기판을 처리할 수 있다. 회사측은 이러한 성능은 단층 증착막으로는 시간당 60장 이상의 기판을 처리할 수 있는 현존하는 가장 빠른 공정 시스템이라고 말했다.

이 시스템의 핵심 기술은 AKT-APX1TM PECVD 공정 챔버 디자인에 있다. 이 기술은 플라즈마 분배를 통제해 5M2 이상의 넓은 기판에 필름 균일성을 확보할 수 있다.

한편 AKT는 LCD 패널 제조사로부터 신제품에 대한 제작주문을 받았으며 2006년 초 공급될 예정이라고 밝혔다.

미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)

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