진보기술 보여주는 iGX , iH 시리즈 성원에드워드주식회사의 iGX 시리즈 펌프는 기존 리모트 드라이 진공 펌프 (Remote Dry vacuum pump) 에 비해 성능은 향상시키고 크기는 줄여, 온 툴(On tool) 또는 프락시미티 드라이 펌프(Proximity dry pump)로 사용 할 수 있다. 현재 반도체 Fab 구조에 적합하도록 소형화 시켰으며, 유틸리티 소모가 적어 Fab 내부의 비용절감 효과가 뛰어나다. iH 시리즈 드라이 펌프는 반도체 산업용 차세대 펌프로서, LCD와 실리콘 Wafer 제조 공정인 Etch, PECVD, LPCVD 등 Harsh한 공정에서도 신뢰할 수 있다. 디자인 과정에서부터, 드라이 펌프의 주요 고장 원인인 공정 부산물 축적으로 인한 문제를 개선했다. 성원에드워드주식회사(대표 김중조)는 1992년 영국 BOC 그룹과 합작 법인으로 설립되었으며, 진공 장비 생산, 판매에 이어 가스 처리장치, 반도체 제조 설비 부품 세정 등 사업 영역을 넓히고 있다.$$$$$

진보기술 보여주는 iGX , iH 시리즈

기사입력 2006-01-25 21:29:27

[산업일보]
성원에드워드주식회사의 iGX 시리즈 펌프는 기존 리모트 드라이 진공 펌프 (Remote Dry vacuum pump) 에 비해 성능은 향상시키고 크기는 줄여, 온 툴(On tool) 또는 프락시미티 드라이 펌프(Proximity dry pump)로 사용 할 수 있다. 현재 반도체 Fab 구조에 적합하도록 소형화 시켰으며, 유틸리티 소모가 적어 Fab 내부의 비용절감 효과가 뛰어나다.

iH 시리즈 드라이 펌프는 반도체 산업용 차세대 펌프로서, LCD와 실리콘 Wafer 제조 공정인 Etch, PECVD, LPCVD 등 Harsh한 공정에서도 신뢰할 수 있다. 디자인 과정에서부터, 드라이 펌프의 주요 고장 원인인 공정 부산물 축적으로 인한 문제를 개선했다.

성원에드워드주식회사(대표 김중조)는 1992년 영국 BOC 그룹과 합작 법인으로 설립되었으며, 진공 장비 생산, 판매에 이어 가스 처리장치, 반도체 제조 설비 부품 세정 등 사업 영역을 넓히고 있다.

진보기술 보여주는 iGX , iH 시리즈

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