구자용 박사, 실리콘 웨이퍼 위의 마지막 원자결함 규명 KRISS(한국표준과학연구원, 원장 정광화)은 ‘이달의 KRISS인상’ 3월 수상자로 전략기술연구본부 이종성장제어연구단 구자용(49) 박사를 선정했다. 구박사는 반도체 공정 중 잔류수분에 의해 실리콘 웨이퍼 위에 발생하는 결함을 원자 수준에서 규명하는데 성공해 그 우수성을 인정받았다. 이 결과는 물리학 분야 세계 최고 권위 논문지인 피지컬 리뷰 레터스(Physical Review Letters)에 게재됐다.앞으로 구박사팀은 실리콘 웨이퍼 내부에 침투하는 개별 원자들의 거동을 규명해 나노미터 수준의 크기를 가지는 고품질 반도체 소자의 공정개선을 위해 지속적인 연구를 수행할 계획이다. 또한 향후 유기물 분자를 이용한 전자소자가 이용될 것으로 예측됨에 따라 유기물과 반도체 사이의 이상적인 무결함 접합을 위해서도 연구를 추진할 예정이다.$$$$$

구자용 박사, 실리콘 웨이퍼 위의 마지막 원자결함 규명

기사입력 2008-03-14 09:55:29

[산업일보]
KRISS(한국표준과학연구원, 원장 정광화)은 ‘이달의 KRISS인상’ 3월 수상자로 전략기술연구본부 이종성장제어연구단 구자용(49) 박사를 선정했다. 구박사는 반도체 공정 중 잔류수분에 의해 실리콘 웨이퍼 위에 발생하는 결함을 원자 수준에서 규명하는데 성공해 그 우수성을 인정받았다.

이 결과는 물리학 분야 세계 최고 권위 논문지인 피지컬 리뷰 레터스(Physical Review Letters)에 게재됐다.

앞으로 구박사팀은 실리콘 웨이퍼 내부에 침투하는 개별 원자들의 거동을 규명해 나노미터 수준의 크기를 가지는 고품질 반도체 소자의 공정개선을 위해 지속적인 연구를 수행할 계획이다. 또한 향후 유기물 분자를 이용한 전자소자가 이용될 것으로 예측됨에 따라 유기물과 반도체 사이의 이상적인 무결함 접합을 위해서도 연구를 추진할 예정이다.

뒤로 기사목록

산업일보 영상뉴스 모아보기

산업일보 페이스북 바로가기

임형준 기자 lhj@kidd.co.kr

이 기자의 다른기사 보기 >