반도체 테스트에 최적화된 계측기의 장을 연다

[산업일보]
키슬리 인스트루먼트(지사장 김해랑)은 지난 20일 그랜드 인터콘티넨탈 호텔에서 소스미터 계측기 및 S530 파라미터 테스트 시스템에 대한 소개를 했다. 이날 설명회는 키슬리의 마케팅 디렉터 마크 시저의 발표로 이루어졌다. 특히 키슬리는 2010년 Danaher의 계열사 중 하나인 텍트로닉스와의 인수합병을 통해 마케팅과 연구개발에 대한 역량을 더욱 강화, 테스트 및 측정에 대한 새로운 요구를 충족시킬 수 있게 됐다.

키슬리가 이날 소개한 계측기 모델 2657A는 고속 정밀 소스 계측기로 2600A 시스템 소스미터 제품군에 새로 추가된 고전압 제품으로 고객사들은 이러한 계측기를 이용해 훨씬 광범위한 전력 반도체 디바이스 및 소재의 특성을 분석할 수 있다. 모델 2657A는 내장된 3,000V, 180W 소스를 통해 유사 경쟁 시스템보다 훨씬 저렴한 비용으로 테스트 대상 디바이스에 최대 5배나 많은 전력을 소싱할 수 있다. 이는 다이오드, FET, IGBT같은 전력 반도체 디바이스 테스트는 물론 질화칼륨, 실리콘 카바이드를 비롯한 다른 화합물 소재 및 디바이스 등 최신 소재의 특성 분석과 같은 고전압 애플리케이션에 최적화돼 있다.

특히 모델 2657A는 급속도로 바뀌는 열 효과를 비롯해 과도 및 안정 상태 동작의 특성을 모두 분석하기 위해 디지타이징 측정 모드나 적분식 측정 모드 중에서 선택할 수 있다. 각 모드는 테스트 처리량에 영향을 주지 않으면서 소스를 정확하게 판독하도록 동시에 실행하는 두 개의 독립적인 ADC를 통해 정의된다. 디지타이징 특정 모드의 18비트 ADC는 포인트당 1usec의 샘플링 속도를 지원하므로 전압 및 전류 과도현상을 동시에 캡처할 수 있다. 또 적분식 측정 모드는 측정 정확도 및 해상도를 극대화해야 하는 애플리케이션에 대해 모델 2657A의 동작을 최적화한다. 또 모델 2675A는 기존 고전압 테스트 애플리케이션과 호환되는 표준 안전 고전압 동축 케이블 연결을 통해 테스트 시스템의 다른 계측기에 연결할 수 있다.



또 키슬리는 경제적인 솔루션인 S530 파라미터 시스템의 기능을 지속적으로 확대해 나간다고 밝혔다. 최신 버전 키슬리 테스트 환경 소프트웨어(KTE V5.4)를 통해 지원됨에 따라 이제 S530을 펄스발생, 주파수 측정, 저전압 측정을 위해 새롭게 통합된 옵션과 함께 48 핀 풀 켈빈 스위칭에 사용하도록 구성할 수 있게 됐다.

이 시스템은 고성능 스위치 매트릭스를 통해 계측기와 테스트 핀 간의 신호 방향을 지정해 피코암페어 미만의 측정 해상도와 저전류 보호 기능을 제공한다. 이 시스템의 가장 돋보이는 최신 향상 기능으로는 48핀 풀 켈빈 스위칭 구성을 지원해 이전에 비해 사용할 수 있는 풀 켈빈 핀 수가 두 배로 늘어났다는 특징이 있다.