불량 분석·수리 가능한 반도체 기억장치 시험장비

[산업일보]
반도체 제조공정의 발전에 따라, 반도체 제조사에서는 반도체 자체의 신뢰성 향상을 위해 불량으로 인한 손실을 최소화하는 방안이 요구돼왔으며, 신뢰성 및 생산성 향상을 위해 특수한 기능의 시험 장치가 필요하게 됐다.

(주)유니테스트 개발본부 고병선 책임연구원은 기존 반도체 시험 장치의 문제점을 개선 및 보완하기 위해 반도체 제조업체와 많은 시간 동안 협업 및 연구개발을 수행했으며, 결국 수 천 개의 반도체를 동시에 시험해 불량 내용을 분석하면서 재사용할 수 있도록 수리기능을 갖는 시험 장비를 개발하게 됐다.



고병선 책임연구원은 기존 시험 장비의 형태를 탈피한 챔버 형태의 시험 장비를 개발했으며 시험 환경에서 불량률 감소 및 신뢰성 향상을 위해 온도를 균일하게 유지할 수 있는 방법을 고안했고 다수의 반도체 기기를 동시에 시험하는 방법 등을 개발해 국내ㆍ외 특허를 등록했다.

챔버는 온도를 제어할 수 있는 장치로 반도체 소자의 시험 온도를 유지하는 공간으로 이번 시험 기술을 국내 반도체 제조 공정에 적용해 공정 개발 및 공정 단순화 방안을 제시함으로써 반도체 제조 공정의 원가를 절감하는 등 반도체의 제조 경쟁력에 크게 기여할 것으로 기대한다.

한편 미래창조과학부(장관 최양희)와 한국산업기술진흥협회(회장 박용현)는 ㈜유니테스트 고병선 책임연구원을 대한민국 엔지니어상 8월 수상자로 선정했다.

반도체 기억장치에 대한 시험 속도를 최대한 단축하면서 불량 분석 및 수리가 가능한 시험 장비를 개발, 세계 시장에서 반도체 기억장치 시험 장비의 기술경쟁력을 확보한 공로를 인정받았다.

고 책임연구원“외산 반도체 기억장치 시험 장비가 국산 제품으로 채워지는 것을 보면서 가슴 뿌듯함을 느낀다”며 “국내 반도체 기억장치 시험 장비의 기술경쟁력 향상을 위해 더욱 정진하겠다”고 수상 소감을 밝혔다.