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OHT로 운송되는 웨이퍼의 실시간 상태 추적 가능
김대은 기자|kde125@kidd.co.kr
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OHT로 운송되는 웨이퍼의 실시간 상태 추적 가능

진동·주파수·속도와 토크 진단으로 이송 간 웨이퍼 훼손 방지

기사입력 2024-02-01 09:46:29
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OHT로 운송되는 웨이퍼의 실시간 상태 추적 가능
시연 중인 솔루션 살펴보는 참관객들

[산업일보]
반도체 산업 전 분야의 특화 기업들을 만날 수 있는 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에서 OHT 장비로 운송하는 웨이퍼의 실시간 상태를 추적하는 솔루션이 등장했다.

OHT는 Overhead Hoist Transport의 줄임말로 반도체 생산 공정에 쓰이는 물류자동화 설비다. 천장에 설치된 레일을 따라 웨이퍼를 필요한 곳에 옮긴다.

웨이퍼는 민감한 소재로 온도, 진도 등에 취약한데, 솔루션은 웨이퍼가 OHT로 운송되는 과정에서 상태를 파악해 손상 전에 대응할 수 있도록 하는 것이다.
OHT로 운송되는 웨이퍼의 실시간 상태 추적 가능
시연 중인 실시간 감지 솔루션

진동, 주파수, 속도와 토크를 실시간으로 진단해 지점별로 알려주는 식으로, 열화상 카메라를 통해 과부화된 장비도 감시할 수 있다.

㈜캔탑스 관계자는 “삼성전자의 평택 공장의 경우 OHT 장비가 120대 정도 설치됐다.”라며 “이 솔루션을 통해 레일이 뒤틀려 진동이 발생하는 등의 이상을 감지하고, 큰 사고로 이어지기 전에 대처할 수 있다”라고 설명했다.

한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 코엑스 전관에서 2일까지 열린다.
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