[포토뉴스] 진공밸브 적용된 반도체 공정챔버 둘러싼 참관객들 업계 표준 크기부터 맞춤형 제작도 가능한 진공밸브 반도체 산업의 현주소를 폭넓게 알아볼 수 있는 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에서 반도체 공정에 쓰이는 진공밸브가 동작하는 시제품이 설치돼 이목을 끌었다.반도체 웨이퍼는 공정챔버에서 프로세싱을 겪게 되는데, 공정 간 챔버는 진공을 유지해야 한다. 이 제품은 진공상태인 챔버의 문 역할을 맡는다. 시제품을 선보인 프리시스(주)(PRESYS)의 권순영 이사는 “진공밸브가 챔버의 어떤 곳에 설치돼 기능하는지 쉽게 알 수 있도록 시제품을 꾸몄다”라며 “업계 표준형인 200mm·300mm는 물론, 챔버 설계에 맞춘 커스터마이징도 가능하다”라고 설명했다. 한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 코엑스 전관에서 2일까지 진행된다.

[포토뉴스] 진공밸브 적용된 반도체 공정챔버 둘러싼 참관객들

업계 표준 크기부터 맞춤형 제작도 가능한 진공밸브

기사입력 2024-02-01 16:00:21

공정챔브 살퍄보는 참관객들

[산업일보]
반도체 산업의 현주소를 폭넓게 알아볼 수 있는 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에서 반도체 공정에 쓰이는 진공밸브가 동작하는 시제품이 설치돼 이목을 끌었다.

작동 중인 진공밸브

반도체 웨이퍼는 공정챔버에서 프로세싱을 겪게 되는데, 공정 간 챔버는 진공을 유지해야 한다. 이 제품은 진공상태인 챔버의 문 역할을 맡는다.

진공밸브 분석하며 집중하는 참관객

시제품을 선보인 프리시스(주)(PRESYS)의 권순영 이사는 “진공밸브가 챔버의 어떤 곳에 설치돼 기능하는지 쉽게 알 수 있도록 시제품을 꾸몄다”라며 “업계 표준형인 200mm·300mm는 물론, 챔버 설계에 맞춘 커스터마이징도 가능하다”라고 설명했다.

한편, ‘세미콘 코리아 2024’는 코엑스 전관에서 2일까지 진행된다.

[포토뉴스] 진공밸브 적용된 반도체 공정챔버 둘러싼 참관객들

업계 표준 크기부터 맞춤형 제작도 가능한 진공밸브

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