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반도체 산업도 ‘ESG 경영’에 적극 대응 중
김대은 기자|kde125@kidd.co.kr
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반도체 산업도 ‘ESG 경영’에 적극 대응 중

VDC·MOCA 물질 ‘Free’ 한 친환경 CMP Pad

기사입력 2024-02-03 15:20:54
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반도체 산업도 ‘ESG 경영’에 적극 대응 중
CMP Pad 살펴보는 참관객들

[산업일보]
기후위기는 인류가 해결해야 할 핵심의제다. 기상청은 ‘2023년 연 기후분석 결과’ 보도자료를 통해 2023년 지구의 평균기온이 14.98℃로 산업화 이후 제일 높았다고 밝혔다.

대부분의 산업은 이러한 기조에 맞춰 ‘ESG(Environmental(환경), Social(사회), Governance(지배구조))경영’을 요구받아 실천에 나서고 있다.

반도체 산업을 대표하는 전시회인 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON KOREA 2024)’에서도 ESG를 적용한 친환경 CMP Pad가 출품됐다.
반도체 산업도 ‘ESG 경영’에 적극 대응 중
SK엔펄스의 팜플렛에 설명된 VDC와 MOCA 화학식. 빨간 원으로 염소(Cl)가 강조돼있다.

CMP Pad에는 고성능 발포제용 VDC(Vinylidene Chloride, 염화 비닐리덴)와 경화제인 MOCA(‘4,4‘-METHTLENE BIS(2-CHLOROANINE)’가 들어가는데, 이 두 물질 모두 화학식에 염소(Cl)가 들어간다.

염소는 제1차세계대전 당시 독가스를 합성하는 데 사용될 정도로 독성이 강한 원소다. CMP Pad의 폐기나 재활용을 위해 열이나 압력을 가하면 이 염소가 반응을 일으켜 유해 물질을 발생시킬 수 있다.
반도체 산업도 ‘ESG 경영’에 적극 대응 중
부스에 전시된 CMP Pad

반도체 소부장업체인 SK엔펄스(SK enpulse)는 VDC를 제거한 CMP Pad를 개발했다. 2차 사업으로 MOCA까지 없앤 CMP Pad도 연구개발 중이다.

SK엔펄스의 김상진 매니저는 “친환경은 유해 물질이 발생하지 않게 한다는 의미”라며 “염소 발생 위험이 없어 CMP Pad 폐기시 환경오염을 줄일 수 있고, 재활용도 용이해진다”라고 설명했다.

그는 “친환경 CMP Pad 공급을 통해 SK하이닉스 등 반도체 업체의 ESG에 기여할 것”이라고 밝혔다.
반도체 산업도 ‘ESG 경영’에 적극 대응 중
램 내구성 테스트 장비 재현품

이외에도 이 업체는 램 내구성 테스트 장비, Blank Mask 등을 선보임과 동시에 참관객들에게 ESG 활동을 적극적으로 홍보했다.

한편, ‘세미콘 코리아’는 지난달 31일부터 2일까지 코엑스 전관에서 개최됐다.
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