노벨러스시스템즈, '고객만족경영'으로 을유년을 힘차게 도약하다

[산업일보]
최근 반도체 업계가 저유전율(낮은 커패시턴스) 유전물질을 이용한 제조 기법으로 전환함에 따라 표면처리 및 CMP 공정이 더욱 중요한 부분을 차지하게 됐다 . 이에 따라 관련 장비 업체들도 동반 성장세를 나타내고 있다. 이러한 선봉에 선 노벨러스시스템즈(Novellus Systems)는 전 세계 주요 반도체 고객들의 요구를 충족시킬 수 있는 제품 및 기술을 속속 선보이고 있다.


고객 생산성 향상에 중점

항상 고객들이 원하는 것이 무엇인지를 먼저 생각한다고 말하는 노벨러스시스템즈(이하 노벨러스)의 Tom Dennis 마케팅 수석부사장은 “생산성, 기술 확장성, 소재의 혁신성이 가장 큰 강점”이라고 말했다.
그는 고객들이 비용을 절감할 수 있도록 생산성 향상에 중점을 둔 시스템 개발에 앞장서 왔다며 그 노력의 결과로 2000년에는 PECVD 시스템인 VECTOR 제품을 발표했다. 이 제품은 경쟁 시스템에 비해 2/3의 풋프린트와 1/3의 서브어셈블리 수로 더 높은 생산성을 제공한다.
또한 고객이 추가적인 투자를 피할 수 있도록 다중 기술 세대에 걸쳐서 확장이 가능하도록 제품을 설계한다. INOVA PVD 시스템의 HCM 소스 디자인은 경쟁 소스 기술과는 달리 구리 배리어/시드(seed) 애플리케이션을 위한 기존 PVD 기술을 65nm 기술 이후까지 확장할 수 있도록 설계됐다고 설명한다.
노벨러스시스템즈는 IC 제조에 이용되는 장비를 개발하는 전문 업체로 IC와 관련된 전도성 금속 및 절연 박막(유전체) 증착 장비, 공정 단계간의 칩 표면 세정 장비(표면처리 장비), 증착 박막 표면 연마 및 평탄화 장비(CMP 장비) 등을 개발하고 있다.

지속적인 기술 개발로 업계 긴장시켜

노벨러스는 생산성 향상과 함께 기술에 대한 꾸준한 개발로 신기술을 내놓아 관련 업계를 긴장시키곤 한다.
지난해 11월 노벨러스는 또다시 업계를 긴장시키기를 주저하지 않았다. 유전체 박막의 특성을 향상시킬 수 있는 UVTP(ultraviolet-assisted thermal processing) 기술을 개발하는데 성공한 것이다.
노벨러스의 UVTP 기술은 65nm 이하의 기술 노드에서 다른 큐어링(curing) 기술에 비해 기술적 이점을 제공한다. 이 회사는 개발된 기술에 대해 트랜지스터 레벨의 고응력 질화 박막 및 인터커넥트 애플리케이션용 low-k(저유전율) 유전체에 UVTP가 핵심 기술로 자리잡을 수 있을 것으로 기대한다고 밝혔다.
UVTP기술 이 외에도 이 회사는 1984년 설립이래 꾸준한 사업 확장을 통해 증착, 장비 유전체 장비 표면처리장비, CMP 장비 등을 개발하고 시장에서 점유율을 높여가고 있다.
한편, 노벨러스는 개발된 UVTP 평가 시스템에 대한 수주를 확보해 놓고 있는 상태로, 올해 초 모듈을 공급할 계획이라고 밝혔다.

고객 통합 센터, 사전테스트로 무결점에 도전

노벨러스는 최근 산호세 본사에 3만평방피트 규모의 고객 통합 센터(CIC)를 개설했다.
“최근 반도체 제조 산업에서 소재 변화에 대한 추세가 뚜렷해지면서 많은 고객들이 장비 구입 결정에 앞서 되도록이면 더 많은 새로운 공정들을 검토하려 하기 때문에 통합 센터 구축은 필수”라고 노벨러스의 Tom Dennis 마케팅 수석부사장은 말하며 “개설된 고객 통합 센터에서 고객들은 구리 및 저유전율 공정 통합 문제를 해결할 수 있을 뿐만 아니라 소자 성능, 수율, 신뢰성, 제조비용에 영향을 미치는 구리 대머신 제조 문제에 대해서도 연구할 수 있다”고 말했다.
이 센터에서는 금속 및 유전체를 위한 증착 장비, 표면처리 장비, CMP 장비, 식각 장비(Lam Research) 등을 이용할 수 있다. 또한 테스트 장비도 갖춰져 있어 완성된 구조에 대한 파라메트릭, 전자이탈, BTS 등의 테스트도 해볼 수 있다.

미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)