싱글 웨이퍼용 장비 전문 기업, SEZ

[산업일보]
SEZ는 오스트리아에 본사를 두고 우리나라를 비롯한 미국, 일본, 중국 등 전세계적으로 10개 지사를 운영하고 있는 반도체 세정장비 전문 기업이다.
SEZ는 1986년에 창립 후 지금까지 반도체 세정장비에만 몰두하면서, 특히 한 번에 한 장씩 웨이퍼를 처리하는 싱글 웨이퍼용 습식 세정 스핀 프로세스 기술을 보급하고 있다.
반도체 제조에 사용되는 싱글타입 습식 세정장비에 있어서는 세계 시장의 65% 수준을 점유할 정도로 지배적인 사업자로 알려져 있다.

싱글 웨이퍼용 장비에 주력 … '다빈치' 수요 기대

SEZ의 한국지사인 SEZ코리아(지사장 정덕헌)는 지난 2000년 말 엔지니어 및 마케팅 인력을 주축으로 설립된 업체로, 웨이퍼 세정장비를 국내 반도체 기업에 공급하고 있다.

SEZ코리아에서 영업활동을 가장 강화하고 있는 제품은 ‘다빈치(Da Vinci) 시리즈’.
다빈치는 단일 웨이퍼 습식 공정 장비로 90nm 이하의 기술노드까지 세정이 가능하다.
8개 챔버를 구현해 시간당 200개 정도의 웨이퍼를 세정할 수 있는 싱글타입 습식세정장비로, 생산성을 향상시켰다. 식각 및 세정, 폴리머 제거에 효과적이며, 장비크기도 대폭 줄여 유지 보수가 간편하다는 것이 특징이다.
다빈치 시리즈에는 300mm 웨이퍼용인 DV-38F, DV-34BF를 비롯해 200mm 웨이퍼용 DV-28F와 DV-24BF 등 4개의 제품군이 포함된다.

“반도체 세정장비 틀 바꾸겠다”

SEZ에서 응용하고 있는 싱글타입은 챔버당 한 번에 한 장씩 웨이퍼를 처리하기 때문에 처리시간이 빠르고 유연성이 높다. 여러 장씩 처리하는 배치식 장비에 비해 생산성이 떨어진다는 지적도 있었으나, 상대적으로 오염도가 높은 구리배선물질이나 미세공정이 적용된 웨이퍼 처리에는 훨씬 우수하다는 평을 받고 있다고 관계자는 설명한다.

SEZ코리아측은 세계 반도체 소자 개발이 초미세 공정 추세로 변해감에 따라 반도체 제조기업들이 수율을 높이기 위한 방안으로 싱글타입을 선호하고 있다며, 다빈치가 이에 부합한 제품이라고 밝혔다. 이에 싱글타입의 장점과 생산성 향상효과까지 뛰어나, 배선 폭이 점점 미세해지고 구리 등 신물질이 도입되면서 신뢰성이 높은 이 장비의 수요가 늘 것으로 전망했다.

SEZ코리아의 정덕헌 사장은 “싱글 웨이퍼 습식 세정장비로 지난해 3억원 가량의 매출을 올렸다”며, “한국은 SEZ의 전세계 매출액 중 10% 가량을 차지하는 주요 시장”이라고 국내시장의 중요성을 언급했다.

SEZ는 기존의 반도체 배치타입 세정장비들을 싱글타입으로 대체하기 위한 연구개발을 활발히 진행중이다.


미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)