세계 최고 수준의 탄소나노튜브 탐침 개발 집속이온빔을 이용...고분해능 전자현미경 내부에서 작동 나노 및 바이오 기술 개발에서 그 중요성이 나날이 증가하고 있는 원자힘 현미경(AFM)의 핵심부품인 탄소나노튜브 탐침 제작기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.한국표준과학연구원의 안상정 박사 연구팀은 “집속 이온빔을 이용해 세계 최고 수준의 정밀한 돌출방향을 갖는 다중벽 탄소나노튜브 원자힘 현미경 탐침을 개발했다”고 1일 밝혔다.나노탐침은 그동안 실리콘이나 실리콘질화물 등을 이용해 왔으나 뿔 모양의 구조 때문에 생기는 측정의 비정확성과 쉽게 마모되는 단점 때문에 나노크기 형상 측정에 한계를 지니고 있었다.안상정 박사 연구팀은 “집속이온빔을 이용해 탄소나노튜브를 절단하는 방법을 찾던 중 이온빔과 탄소나노튜브와의 상호작용에 의해 탄소나노튜브가 특정 방향으로 구부러지는 현상을 발견했다”며 이 현상을 바탕으로 탄소나노튜브를 3차원 공간에서 원하는 위치에, 원하는 각도로 구부리거나 펴는 기술을 개발하게 됐다고 밝혔다.현재 이 기술은 국내와 미국, 유럽, 일본 등에 총 4건의 특허를 출원중이며 개발된 탄소나노튜브 탐침은 10nm 선폭의 AFM 리소그래피 기술개발에 이용되고 있다.한편, 이번 연구성과는 재료분야에서 세계 최고의 권위를 자랑하는 독일의 ‘Advanced Materials’지 인터넷판 11월 21일자에 게재됐다.미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)$$$$$

세계 최고 수준의 탄소나노튜브 탐침 개발

집속이온빔을 이용...고분해능 전자현미경 내부에서 작동

기사입력 2005-12-05 13:39:00

[산업일보]
나노 및 바이오 기술 개발에서 그 중요성이 나날이 증가하고 있는 원자힘 현미경(AFM)의 핵심부품인 탄소나노튜브 탐침 제작기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국표준과학연구원의 안상정 박사 연구팀은 “집속 이온빔을 이용해 세계 최고 수준의 정밀한 돌출방향을 갖는 다중벽 탄소나노튜브 원자힘 현미경 탐침을 개발했다”고 1일 밝혔다.

나노탐침은 그동안 실리콘이나 실리콘질화물 등을 이용해 왔으나 뿔 모양의 구조 때문에 생기는 측정의 비정확성과 쉽게 마모되는 단점 때문에 나노크기 형상 측정에 한계를 지니고 있었다.

안상정 박사 연구팀은 “집속이온빔을 이용해 탄소나노튜브를 절단하는 방법을 찾던 중 이온빔과 탄소나노튜브와의 상호작용에 의해 탄소나노튜브가 특정 방향으로 구부러지는 현상을 발견했다”며 이 현상을 바탕으로 탄소나노튜브를 3차원 공간에서 원하는 위치에, 원하는 각도로 구부리거나 펴는 기술을 개발하게 됐다고 밝혔다.

마스크를 이용하여 특정위치에 특정방향으로 구부러 뜨린 다중벽 탄소나노튜브.

현재 이 기술은 국내와 미국, 유럽, 일본 등에 총 4건의 특허를 출원중이며 개발된 탄소나노튜브 탐침은 10nm 선폭의 AFM 리소그래피 기술개발에 이용되고 있다.

한편, 이번 연구성과는 재료분야에서 세계 최고의 권위를 자랑하는 독일의 ‘Advanced Materials’지 인터넷판 11월 21일자에 게재됐다.

미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)

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