첨단 기술과의 결합체, 멤스 카드

[산업일보]
MEMS는 반도체공정기술과 미세가공기술을 이용해 실리콘 기판(웨이퍼)을 수 ㎛(마이크로미터) 수준의 초미세 구조물이나 장치 등을 제작하고 시스템화하는 기술이다.
멤스 카드(MEMS CARD)는 기존 프로브 카드에 이 MEMS 기술을 적용한 초미세 탐침을 배열한 조립체로서, 반도체 칩과 제조과정 전공정을 거친 후 제품 불량 여부를 진단하는 필수장치다. 프로브 카드(Probe Card)란 반도체, 디스플레이의 제작 과정에서 성능을 테스트하기 위해 웨이퍼와 테스트 장비를 연결시켜주는 장치를 말한다.

첨단 멤스 기술 적용한 신개념 프로브 카드

기존 프로브 카드는 수작업에 의존해 한번에 32개 칩까지 검사할 수 있었으나, 멤스 카드는 1회에 128개 이상의 칩 검사가 가능하다. 처리량은 4배로 늘고 검사에 소요되는 시간과 비용을 대폭 줄임으로써 생산성을 향상시키고, 다양한 디바이스를 검사할 수 있다는 것이 장점이다. 정밀도와 정확성이 뛰어나 수율 향상 효과가 탁월한 멤스 카드는 기존 프로브 카드를 대체하는 차세대 반도체 검사장치로 주목받고 있다.

특허청에 따르면, 작년 전세계 프로브 관련시장 중 멤스 카드가 차지한 비중은 40% 정도였다. 멤스 카드 시장은 향후 연간 20~30% 고도성장을 기록하며 2008년에는 10억 달러를 상회할 것으로 예상했다.
현재 우리나라 프로브 카드는 멤스 기술과의 결합으로 매년 시장 규모가 늘어나고 있는 추세다. 특히 작년부터는 기존 프로브 카드에서 멤스 카드로의 전환이 본격화돼 2008년까지 지속적인 성장을 예고하고 있다.


국내업체가 멤스 카드 상품화 주도

2004년 10월 특허청 분석결과, 국내 멤스 카드의 기술은 세계 수준에 못지않은 경쟁력을 갖추고 있는 것으로 나타났다.
멤스 카드는 국내 업체가 핵심특허를 보유, 2004년 상반기에 전년 대비 200% 이상의 성장을 기록했다. 이 같은 고성장의 원인은 기존 제품에 대한 교체수요와 반도체 생산량의 증가, LCD 생산업체의 투자확대 때문인 것으로 특허청은 분석했다.
멤스 카드와 관련한 특허 출원도 1998년 처음 3건에서 최근 30여건으로 증가했고 외국인보다 내국인의 출원건수가 점점 늘어나 향후에도 멤스 카드 제품 시장은 점차 확대될 것으로 기대된다.

국내 시장 40% 점유, 향후 지속성장 예상

"2002년 특허청 100대 우수특허 선정”
"2003년 과학기술부 주최 제45주 IR52 장영실상 수상”
"2005년 산업자원부 차세대 일류 상품 선정”
국내 업체가 보유한 멤스 카드의 기술력을 인정할 수 있는 사례다.

반도체 및 LCD 검사관련 업체인 (주)파이컴(대표 이억기)은 멤스 기술을 활용한 멤스 카드를 독자적으로 개발하고 상용화에 성공한 대표적 기업이다.
파이컴의 멤스 카드는 작년에 약 145억 원의 매출을 올리면서 총 매출액의 36%를 차지, 또한 국내 시장 40%, 세계 시장 10%를 점유하며 급상승세를 타고 있다.
파이컴 관계자는 멤스 카드 시장 규모를 올해 약 483억 원으로 예상하고, 앞으로도 독자 기술로 개발한 반도체 검사장치 시장에서 주도적인 역할을 할 것이라고 강조했다.

차세대 반도체 검사부품인 멤스 카드는 반도체 웨이퍼 생산에 반드시 필요한 소모성 부품으로 반도체산업 회복과 함께 소자업체들의 수요가 급격히 늘어날 것으로 예상되고 있다. 또한 국내 개발 업체의 꾸준한 시장 개척과 실적 호조세에 비춰볼 때 올해 멤스 카드는 반도체 부품 시장에서 보다 활성화될 것으로 전망된다.


미디어다아라 이경옥 기자(withok2@daara.co.kr)