사이노바, 국내 OLED 장비 수주

[산업일보]
워터-젯-가이드 레이저 기술의 선두기업 사이노바(Synova)는 한국 OLED 제조업자와 미국 반도체 제조업자로부터 한국 설비를 수주했다고 31일 밝혔다.

수주 장비는 ▲ 사이노바의 OLED 마스크 제조용 레이저 스텐실 커팅 시스템, LSS 1200과 ▲ 얇은 웨이퍼의 에지 그라인딩을 위해 당사의 레이저 그라인딩 시스템, LGS 200A로 알려졌다. 이번 두 제조업체의 주문은 한국 시장에 대한 사이노바 보급의 성과이며, 첨단전자제조업에 레이저 마이크로젯의 적용이 늘어 가고 있음을 보여주는 결과라고 회사측은 강조했다.

이번 주문을 통해 해당 제조업자는 각자의 작업 과정에서 사용된 전통적인 커팅과 그라인딩 방법의 교체를 경험하게 될 것으로 보인다. OLED 마스크 제조에서는 LSS 1200은 마스크 커팅을 위해 화학적 에칭을 대신한다. 기존의 화학적 에칭은 정확, 모양의 크기 제한, 융통성 그리고 팹(fab)의 풋프린트에서 많은 한계점을 갖고 있었다. 하지만 OLED가 효율과 크기 양쪽에서 계속해서 전진함에 따라, 레이저 마이크로젯을 이용한 작업이 비용과 기술적인 면에서 그 효과를 인정받고 있다.

한편, 한국의 반도체 제조 설비에서 LGS 200A 설치 주문은 전통적인 그라인딩 휠에 의존하는 방법을 대신 할 것이라고 사이노바는 전망했다.
특히 얇은 웨이퍼를 사용할 때 보다 진취적이고 손상이 줄어든 과정이 될 것이라고 강조했다. 웨이퍼 표면에 끼일 수 있는 뒷면 미세조각에 대해 느리고 유연하지 못하게 접근했던 기존 방식의 한계를 뛰어넘을 것으로 보인다. 레이저 마이크로젯은 남아있는 제조 단계에서 웨이퍼를 약하게 할 어떠한 기계적인 스트레스를 감소시키는 동안, 웨이퍼의 에지에서 칩과 미세한 틈을 발생시키지 않고 얇은 웨이퍼의 부서지기 쉬운 에지를 갈아낸다. 뿐만 아니라 워터젯은 궁극적으로 제조업자의 이익을 증가시키고, 오염을 줄이면서 웨이퍼의 가장자리로부터 모든 찌꺼기를 배출시킨다.

아이노바의 아시아 세일즈 매니저 Frederic Pasche는 “아시아, 특히 한국에서의 레이저 마이크로젯에 대한 관심과 활동의 수준은 지난 해 보다 증가했다”며 “이들은 결정적인 영역뿐만 아니라, 평판과 반도체 시장 사이에서도 우리의 존재를 명확하게 지탱하는 수확”이라고 말했다.

한편,사이노바는 서울 지역에 새로운 마이크로머시닝센터(MMC)의 오픈으로 한국에서의 존재를 증가시키고 있다. 올해 3월에 오픈이 계획된 MMC는 데모, 견본 시험, 어플리케이션 개발을 위한 능력 센터의 역할을 담당할 예정이다.

산업일보 전은경 기자 miin@kidd.co.kr