[FOCUS] 고효율 신소재 SiC 이용한 전력반도체 국산화 길 열어 전기(연), 전기차 핵심부품 제조기술 기술이전 왜 어려움을 무릅쓰고 탄화규소 반도체를 개발하려고 애쓸까. 탄화규소(SiC)는 탄소와 규소가 1:1로 결합된 화합물이다. 다이아몬드 다음으로 단단하고 실제 다이아몬드처럼 투명하다. 반도체 물질이지만 보석이나 다름없다.탄화규소는 보석처럼 단단하고 화학약품에도 끄떡도 않으니 가공하기 무척 어렵다. 한마디로 반도체 칩으로 만들기 까다롭고 어렵다는 뜻이다. 반도체 제조의 출발물질인 고품질의 단결정 및 박막 제조 등이 어려워 일부 해외 선진 기업들에서만 연구돼 왔다. 특히 고가의 원료물질과 새로운 소자공정의 개발이라는 한계로 인해 현재까지도 SiC 전력반도체를 양산한 곳은 전세계적으로 미국의 크리(Cree), 독일의 인피니온(Infineon), 일본의 롬(Rohm) 등 극소수에 머물고 있다. 하지만, 성공만 한다면 탄화규소 반도체는 프리미엄급 반도체이다. 그것도 큰 전력을 제어하는 분야에서는 아주 매력적인 반도체다. 탄화규소 전력반도체 세계시장 규모는 2014년 기준으로 1억 4천600만 달러(약 1천670억 원) 규모이지만 고속 성장으로 2020년에는 10억 9천500만 달러(약 1조 2천590억 원)에 이를 것으로 전망된다. 특히 응용분야 중에서도 자동차용(HEV/EV) 성장 속도가 가장 빨라 2020년에는 자동차용 세계시장 규모는 2억7천100만 달러에 이를 것으로 예상된다.전기차 핵심부품전압과 전류를 조절하는 역할을 하는 전력반도체는 정보를 저장하는 메모리 반도체가 인체의 두뇌에 해당한다면 전력반도체는 일을 하는 근육에 해당한다. 전력이 크게 필요할수록, 시스템의 경량화·소규모화가 중요한 분야일수록 효율적인 전력반도체가 필요하며, 이에 따라 탄화규소 전력반도체가 전기 자동차 분야의 핵심 부품으로 관심을 받고 있다.전기차의 에너지 효율을 획기적으로 올릴 수 있는 핵심부품기술이 국내 연구진의 끈질긴 노력 끝에 개발돼 국내 전문기업에 이전된다.한국전기연구원(KERI, 원장 박경엽, 이하 ‘전기연’)은 메이플세미컨덕터㈜(대표 박용포)와‘탄화규소(SiC) 전력반도체 기술’ 이전 계약을 체결했다고 밝혔다. 기술료는 착수기술료 11억 5천500만원에 향후 추가로 매출액 대비 런닝 로열티를 받는 조건으로 전력반도체분야에서는 최대 규모다.메이플세미컨덕터㈜는 향후 이 기술이 양산화 되면 연간 국내매출만 500억 원 이상, 해외 매출액은 약 1천 500억 원까지도 가능할 것으로 기대하고 있다.자동차용 핵심부품으로 탄화규소 전력반도체가 주목받고 있는 것은 탄화규소의 경우 물성이 좋아, 기존 실리콘 반도체에 비해 전력을 덜 사용하고, 열도 거의 발생하지 않기 때문이다.전기차에 이를 적용하면 반도체 자체도 고효율일 뿐 아니라 열이 거의 발생하지 않아 냉각장치의 무게와 부피까지 줄일 수 있어 연비(에너지효율)를 크게 올릴 수 있다.기술을 이전받은 메이플세미컨덕터(주)의 박용포 대표 역시 탄화규소 전력반도체를 전기자동차용 반도체의 주역으로 보고, 양산화를 준비하고 있다.탄화규소 전력반도체는 현재 실리콘(규소) 반도체가 장악 하고 있는 연간 18조원 규모의 세계 전력 반도체 시장에 진입하는 단계에 불과하지만, 일본 등 선진 자동차업계는 이미 탄화규소 전력반도체에 주목해 1990년대부터 연구를 진행해왔다.이 분야에서 가장 앞서있는 도요타는 프리우스 3세대 모델에 탄화규소 전력반도체를 채용해 전체 연비를 5% 향상시킨 바 있으며 5년 안에 연비(에너지효율)를 10% 이상 향상시킨 전기차를 양산하겠다는 계획이다.우리나라의 전력반도체 연구는 1990년대부터 시작됐으나, 이미 세계 최고를 달리고 있는 메모리반도체와 달리 연구 환경이 열악했던 것이 사실이다. 이에도 불구하고 국내 기술로 전력반도체 제조 원천기술을 개발할 수 있었던 데에는 전기연구원에 16년간 외길로 매진해 온 연구팀(전력반도체연구센터)이 있었기 때문이다.전기(연)은 출연(연) 원천기술연구의 일환으로 1999년부터 전력 반도체 관련 과제를 꾸준히 수행해왔다.특히 10여년의 연구에도 시장이 형성되지 않아 어려움이 있었음에도 탄화규소 반도체 연구를 중단하지 않고 2012년부터 연간 20억원씩 적극 지원한 전략이 결실을 맺었다.이전에는 미국, 프랑스 등에서만 가능하던 전력반도체 제조의 핵심기술인 고온 이온주입 기, 칩면적과 전력소모를 크게 줄인 다이오드 기술, 고전압 트랜지스터(MOSFET) 기술 등 그간 전기(연)이 축적해온 전력반도체 관련 기술이 집약돼 있다.기술이전은 미래부의 출연금 사업을 통한 성과로 이뤄졌으며, 미래부는 향후 출연(연)이 안정적 예산을 통해 모험적인 연구, 국가 경제를 이끌어갈 수 있는 원천 연구를 수행할 수 있도록 지속적으로 지원할 계획이다.전기연구원 전력반도체연구센터 김남균 센터장은 “그간 연구중단 위기가 여러 차례 있었다. 출연(연)이었기에 가능했던 16년이었다” 면서, “장기 원천 연구에 대한 신념을 가지고 지속적인 기회를 주신 것에 감사하며, 전력반도체 연구 분야의 세계 1등을 위해 노력할 것”이라고 말했다.연구배경-. 왜 어려움을 무릅쓰고 탄화규소 반도체를 개발하려고 애쓰는가?▲ 탄화규소(SiC)는 탄소와 규소가 1:1로 결합된 화합물이다. 다이아몬드 다음으로 단단하고 실제 다이아몬드처럼 투명하다. 반도체 물질이지만 보석이나 다름없다.탄화규소는 보석처럼 단단하고 화학약품에도 끄떡도 않으니 가공하기 무척 어렵다. 한마디로 반도체 칩으로 만들기 까다롭고 어렵다는 뜻이다.물성이 뛰어나지만, 반도체 제조의 출발물질인 고품질의 단결정 및 박막 제조 등이 어려워 일부 해외 선진 기업들에서만 연구돼 왔다. 특히 고가의 원료물질과 새로운 소자공정의 개발이라는 한계로 인해 현재까지도 SiC 전력반도체를 양산한 곳은 전세계적으로 미국의 크리(Cree), 독일의 인피니온(Infineon), 일본의 롬(Rohm) 등 극소수에 머물고 있다.하지만, 성공만 한다면 탄화규소 반도체는 프리미엄급 반도체이다. 그것도 큰 전력을 제어하는 분야에서는 아주 매력적인 반도체이다.탄화규소 반도체는 같은 두께의 실리콘에 비해 약 10배의 전압을 견뎌낼 수 있다. 이는 10분의 1 두께만으로도 실리콘과 동등한 전압을 제어할 수 있다는 뜻이고 그만큼 전기저항이 작아져 실리콘에 비해 전력손실(열 발생)이 거의 없다. 그러니 탄화규소 전력반도체로 전기차 인버터를 만들면 실리콘 반도체를 사용한 것보다 전력손실도 줄고 무거운 냉각장치를 줄이거나 아예 없앨 수 있다. 전력손실도 줄이고 차제 중량도 줄어드니 이중으로 에너지 효율을 높일 수 있다. 탄화규소 반도체가 다가오는 전기차 시대의 핵심 경쟁력으로 떠오르고 있는 이유다.-. 자동차 업계에서 탄화규소 반도체를 주목하는 이유▲ 2000년대 이후 전 세계 기후변화 및 화학연료의 고갈문제 등으로 화학연료를 이용한 자동차에 대한 수요가 줄어들고 하이브리드 및 전기차에 대한 각국의 관심이 높아지고 있다. 미국, 일본, 독일 등에서는 전력반도체 특히 신소재를 이용한 고효율, 고출력의 전력반도체 개발과 상용화에 박차를 가해 왔고 최근에 들어 조금씩 성과를 내고 있는 실정이다. 특히 전기차에서의 고효율, 고출력 전력반도체는 단순한 차량 성능 향상을 위한 선택의 문제가 아니라 이미 규제 대상이 된 배기가스 억제, 연비향상 등을 달성하기 위한 필수불가결한 해결책으로 떠올랐다.이런 배경에서 연비 1% 향상을 위한 자동차 업계의 전방위적인 노력은 상상을 초월한다. 그런데 전기차나 하이브리드 차에서 실리콘 전력반도체를 단지 탄화규소 전력반도체로 대체하는 것만으로 무려 5%의 연비(에너지효율) 향상 효과를 보았다면? 믿기지 않지만 사실이다.자동차용 탄화규소 반도체 개발에 가장 앞선 업체가 도요타 자동차인데 최근 프리우스 모델에 탄화규소 전력반도체를 사용해 무려 5%의 연비가 향상되는 성과를 거두었다고 발표했다(※2015년 10월 이태리 시칠리에서 개최된 국제 탄화규소학회, 약칭 ICSCRM). 즉, 도요타는 프리우스 3세대 모델에 탄화규소 전력반도체를 채용한 인버터를 시험한 결과 차량의 전력시스템 손실을 무려 80%나 줄였고 궁극적으로 자동차 연비를 약 5% 향상시켰다고 발표했다. 도요타는 탄화규소 전력반도체를 장착해 현재 기술보다 연비를 최고 10% 이상 향상시킨 하이브리드차, 전기차를 5년 내 양산한다고 공언하고 있다.국내 자동차 제조업체도 자체적으로 탄화규소 전력반도체 연구개발을 수년전부터 진행하고 있는 것으로 알려져 왔다. 현대자동차는 2015년 11월 국내에서 개최된 한 학술대회(한국세라믹학회 추계학술대회 ‘SiC 반도체 재료와 소자’ 심포지움)에서 탄화규소 다이오드의 개발결과를 처음으로 발표했다. 비록 후발 주자이지만 현대자동차가 탄화규소 전력반도체 개발에 의미있는 진전을 이룬 것으로 보인다. 그러나 자동차에 직접 적용하려면 반도체 특성의 향상은 물론이고 여러 개의 반도체 칩을 집적해 패키지하는 이른바 전력용 모듈 기술도 발전시켜야 하는 과제가 남아있다.KERI가 개발해 이전하는 기술이 메이플세미컨덕터㈜에서 상용화되면 국내 자동차 업체의 경쟁력 향상에 직접적으로 기여할 전망이다. 더욱이 전 세계 시장으로 진출한다면 프리미엄 전력반도체 시장에서 20% 이상 점유율도 가능하지 않을까 기대한다.-. 연구를 시작한 계기나 배경은?▲ 탄화규소는 실리콘에 비해 물성은 너무나 뛰어난데, 한 마디로 너무 까다롭고 갈 길이 멀어보였다. 뭐랄까 백리길 가시밭 속에 있는 이상향이랄까...어렵고 힘들 것이라는 점에 이끌렸다.-. 연구 전개 과정에 대한 소개▲ 우리나라의 2000년대 초반 연구 환경이 탄화규소를 다루기에는 너무나 척박했다. 아주 기초적인 소자 기능을 구현하기까지 몇 년이 걸렸다. 요즘이야 대학원 학생을 잘 교육시키면 몇 달 만에도 기초소자를 만들어낸다. 처음에는 다이오드부터 시작했다. 다이오드 기술이 어느 정도 성취되면 트랜지스터 연구를 했다. 트랜지스터 기술이 어느 정도 올라가면 다시 좀 더 고난도의 다이오드, 그 다음엔 또 더 고성능의 트랜지스터 이런 식으로 기술을 쌓아나갔다. 특히 탄화규소의 재료공학적인 결함문제가 지금까지 오랜 이슈였는데 결정적으로 우리 센터가 재료공학에 강점을 갖고 있어서 그 덕을 좀 봤다.-. 연구하면서 어려웠던 점이나 장애요소가 있었다면 무엇인지? 어떻게 극복(해결)했는지?▲ 장애요소는 한두 가지가 아니지만 과학기술자 입장에서 두 가지만 언급하고 싶다. 첫째, 부실한 연구 인프라 문제다. 지금도 탄화규소 반도체를 팹-인(fab-in, 소자 제작을 시작하는 것)부터 팹-아웃(fab-out, 소자 제작을 완료하는 것)까지 한 장소에서 가능케 하는 연구기반(인프라)이 없다. 이 분야 기술선진국인 미국과 일본은 정부 주도로 탄화규소 반도체 전용 팹을 만들어 연구개발을 지원하고 있다. 미국 에너지부는 2014년부터 ‘파워 아메리카’ 프로그램을 시작해 탄화규소 반도체 전용 팹을 국가 주도로 구축하고 있다. 일본 정부도 연구도시인 쯔꾸바 시에 ‘쯔꾸바 파워 일렉트로닉 센터(TPEC)’라는 탄화규소 반도체 전용 팹을 운영하고 있다. 우리 센터로서는 이런 나라들과 경쟁을 해야 하니 참 힘들다. 그나마 최근에 부산시에서 탄화규소 전용 팹을 구축한다고 정부예산을 신청 중이다. 연구자 입장에서는 정말 고마운 일이다. 2019년 완공 목표로 한다니 꼭 성공하기를 소원한다.둘째, 하나의 토픽으로 오래 연구를 지속하기가 어렵다. 우리가 천착한 기술이 여간 어려운 게 아니어서 참 오랜 기간이 소요됐다. 당장에 제품화가 되지 않는 연구를 수행하다 보니 연구 중단의 위기 등 어려움도 많았다. 이 분야 연구는 3년, 5년 해서는 제대로 된 성과가 나올 수 없다고 생각한다. 이 분야에 연구비를 더 지원해 달라고 하면 “박사님, 이 테마 지난번에 한번 하신 것 아녜요?” 하면서 우선순위를 확 낮춘다. 심화된 목표와 축적된 내용은 보지 않고 단지 ‘한 번 써먹은 테마’ 취급을 당한다.뒤돌아보면 연구가 중단될 뻔한 고비가 무척 많았다. 그렇지만 지난 16년 동안 전기연구원 주요사업으로 몇 차례의 지원을 받았다. 특히 최근(2012년)에 연구장비 구축에 약 40억 원이라는 큰 연구비를 지원받았는데, 그게 이번의 기술이전이라는 열매를 맺는데 주효했다. 나는 전기연구원이라는 정부출연연구기관에 몸담고 있다는 덕을 본 셈이고 이제 조금은 빚을 갚은 느낌이다.-. 이번 성과, 무엇이 다른가?▲ 우리나라가 반도체 선진국인 건 맞다. 그런데 그건 메모리 반도체에 국한된 얘기다. 전력반도체 분야로 초점을 맞추면 세계 20위 안에 우리나라 국적기업이 없다. 선진국은 커녕 중진국이라고 할 수 있을지조차 모르겠다. 그런데 세계적인 조류를 보자. 신재생 에너지와 같은 새로운 전원(電源), 전기자동차와 같은 새로운 전력수요의 대두 등으로 전력반도체 신규 시장은 그야말로 폭발적으로 성장 중이다.우리가 개발한 탄화규소 반도체는 프리미엄 반도체이다. 탄화규소는 전력반도체의 패러다임을 바꿀 수 있다. 기존의 실리콘 반도체로서 계속 경쟁한다면 우리나라 국적기업에게는 거의 기회가 없을 것이다. 그러나 새롭게 형성되는 탄화규소 전력반도체 시장이라면 우리에게도 기회는 충분히 많다. 전기연구원이 개발한 기술이 우리나라가 전력반도체 선진국으로, 또 국적기업이 세계 5대 기업으로 도약하는데 필수 자양분이 될 것으로 확신한다.-. 꼭 이루고 싶은 목표와, 향후 연구계획은?▲ 우선, 우리 기술을 전수받은 기업이 양산화에 성공하는데 온 힘을 보태는 것이다. 우리 기술이 세상으로 나아가 사회에 기여하는 것을 꼭 볼 것이다. 향후 연구계획은 단기적으로는 칩 면적을 더 줄일 수 있는 기술을 개발하는 것이고 장기적으로는 소자 하나가 수만 볼트의 전압을 견뎌낼 수 있는 슈퍼 고전압 반도체를 개발하는 것이다.-. 탄화규소 반도체가 극복할 점 그리고 향후 전망▲ 탄화규소의 우수한 특성만 보면 당장 실리콘 반도체 시대가 끝날 것만 같다. 그러나 실리콘 시대는 쉽게 사라지지는 않을 것이다. 탄화규소에게도 약점이 있기 때문이다. 크게 두 가지로 요약된다.첫째, 비싸다. 출발 물질도 비싸고 제조비용도 실리콘보다 비싸다. 우선 탄화규소 웨이퍼는 매우 비싼 공법으로 만들어진다. 약 2,400℃의 초고온에서 단결정을 성장시킨다. 또한 다이아몬드 다음으로 단단하니 얇은 판상의 웨이퍼로 가공하기 어렵다. 반도체 제조비용은 실리콘과 거의 유사한 수준이지만 적어도 싸지는 않다.둘째, 탄화규소는 재료 내부의 결함이 너무 많다. 지난 20년간 엄청나게 줄어들었지만 아직은 실리콘보다 훨씬 결함을 많이 갖고 있다. 결함이 많다보니 웨이퍼 당 살아남은 칩의 개수가 상대적으로 적다. 이 역시 가격이 비싸지는 요인으로 수렴된다.위의 두 가지 핵심 요인이 반영돼 현재 탄화규소 반도체 칩 가격은 동등 성능의 실리콘보다 약 2∼5배 정도 비싸다. 시장경제 체제에서 값이 비싸다는 것만큼이나 치명적인 약점은 없다.탄화규소가 ‘비싸다’는 결정적인 약점에 대해 개발자들은 낙관적이다. 대량수요에 의한 대량생산으로 웨이퍼 가격이 지속적으로 내려가고 있다. 결함도 줄어들고 있다. 특히 2013년에 직경 6인치 웨이퍼가 출현했고 2020년 경 8인치 웨이퍼도 등장할 것으로 예상된다. 일반적으로 더 큰 웨이퍼를 사용할수록 칩당 가격이 저렴해진다.가격 결정 요소 중에서 간과할 수 없는 탄화규소의 결정적인 장점은 두 가지다.첫째는, 실리콘에 비해 1/2∼1/5 면적으로도 실리콘과 동일한 성능을 낼 수 있다. 즉 같은 면적의 웨이퍼에서 실리콘보다 탄화규소 칩 수가 2∼5배 많이 생산될 수 있다. 그만큼 가격이 인하될 수 있다.둘째는, 탄화규소 전력반도체를 사용하면 전체 시스템의 부피나 무게를 줄일 수 있다. 탄화규소 반도체를 사용하면 냉각장치를 줄이거나 없앨 수 있는 점이 대표적이다. 되로 주고 말로 받는 셈이다.셋째는, 역시 따라올 수 없는 우수한 특성이다. 이는 에너지 효율과 직접적인 연관이 있다. 예를 들어 어느 수준 이상의 효율을 발휘하는 전력 시스템에는 탄화규소가 반드시 필요하다.종합하면, 현재 탄화규소는 실리콘보다 몇 배 비싸다. 그 가격차는 시간이 지남에 따라 현저히 줄어들 것으로 보이지만, 가격 차이 때문에 저렴한 가격이 우선인 저가 전기전자 제품에는 앞으로도 쓰이지 않을 가능성도 있다. 하지만 프리미엄급 효율이 필요한 전기자동차 같은 시스템에서는 절대적으로 선호될 수밖에 없다. 효율이 높으면 투자회수 기간이 짧아지는 신재생 에너지산업에서도 탄화규소가 유망하다. 에너지 효율 기준은 시간이 지날수록 규제의 벽이 높아진다. 그런 점에서 ‘고효율’을 확실하게 보장하는 탄화규소 반도체의 미래는 무척 밝다.탄화규소탄화규소는 SiC(에스아이씨) 또는 Silicon carbide로 표기하기도 한다.탄화규소는 실리콘(Si)과 탄소(C)가 일대일로 결합된 화합물로, 다이아몬드 다음으로 단단한 물질이다. 단단한 특성을 이용해 지금까지는 반도체 재료보다는 주로 사포나 숫돌 등 연마용 재료로 사용돼 왔다.반도체로 사용하기 위해 약 2,400℃의 초고온에서 단결정을 만든 후에 얇게 절단해 웨이퍼로 사용한다. 단결정 탄화규소 웨이퍼는 투명하다.탄화규소 반도체를 사용하면 왜 전기차 효율이 높아지는가?전기차의 인버터 내의 전력반도체가 전력을 제어하는 동안 전기다리미만큼의 큰 열이 발생한다. 전력반도체에서 열이 발생하면 그만큼 에너지 효율이 낮아지고 자동차에 무거운 냉각장치를 달아야 한다.(모터를 돌리는데 필요한 전력이 열로 변해 못쓰게 된 것이므로 그만큼 효율이 낮아진다) 탄화규소 반도체는 같은 두께의 실리콘에 비해 약 10배의 전압을 견뎌낼 수 있다. 이는 실리콘의 10분의 1 두께로 같은 수준의 전압을 견딘다는 뜻이다. 두께가 줄어든 만큼 전기저항이 작아지므로 탄화규소는 실리콘에 비해 전력손실(열 발생)이 거의 없다.따라서 탄화규소 전력반도체로 전기차의 인버터를 만들면 실리콘 반도체를 사용한 것보다 전력손실을 크게 줄일 수 있다. 열 발생이 확 줄어드니 무거운 냉각장치를 줄이거나 아예 없앨 수 있다. 정리하면 탄화규소 반도체는 전기차 배터리의 전력을 덜 쓰게끔 하고, 거기에 더해 전기차의 무게와 부피도 줄이므로 자동차의 에너지 효율을 크게 높일 수 있다.이온주입이란?이온주입(Ion implantation)의 개념반도체 웨이퍼의 표면을 뚫고 들어갈 만큼 큰 에너지를 갖도록 전기장으로 이온을 가속해 반도체 웨이퍼 내부로 넣어 주는 것으로 탄화규소 내부의 불순물 확산속도가 극단적으로 낮아서 실리콘 반도체 공정에서 널리 사용되는 ‘확산공정’이 불가능하다. 이온주입 공정이 탄화규소에서 p-형 혹은 n-형 불순물을 투입할 수 있는 거의 유일한 방법이기 때문에 이온주입은 탄화규소 반도체 제조를 위한 필수적인 공정이며, 이 과정에서 반도체의 전기적 특성이 사실상 결정된다.똑같은 에너지로 주입하더라도 실리콘(왼쪽)보다 탄화규소(오른쪽)에 더 얕게 들어가는데, 이는 탄화규소의 결합력이 더 강하기 때문왜 탄화규소는 고온에서 이온을 주입하는가?공유결합 탄화규소는 원자간 결합력이 강해 이온주입을 하면 격자 손상 정도가 지나쳐 열처리를 하더라도 격자 회복이 어렵다. 탄화규소를 수백도로 가열하면 격자간 간격이 미세하게나마 넓어지고 결합력이 다소 약해져 이온주입을 하더라도 격자의 손상 정도가 경감된다. 이러한 원리에서 약 500℃ 이상의 범위에서 이온주입한다..한국전기연구원은 국가 주요사업으로 고온·고에너지 이온주입 장치를 2013년에 설치, 운영하고 있다((관련사업명: 차세대 전력용 반도체 핵심기술 개발)). 고온에서 주입하는 기술뿐만이 아니라 이온주입 전(前)공정과 후(後)공정 기술을 동시에 개발해 탄화규소 반도체 연구개발과 시작품 개발에 활용(국내 산학연에 연간 100회 이상의 기술 지원) 된다. 이전에 미국, 프랑스 등 외국에서만 가능하던 핵심공정을 국내에서 가능케 해 시간적 손실을 줄였을 뿐만 아니라 소자 설계 내용이 외국기관에 공개되는 문제들을 해결해 국내 산학연의 기술이 외국에 노출되지 않고 지근거리에서 기술 지원하는 역할을 수행중이다. 고온 이온주입 기술 구축에 미래창조과학부가 정부출연금을 지원하고 있다.

[FOCUS] 고효율 신소재 SiC 이용한 전력반도체 국산화 길 열어

전기(연), 전기차 핵심부품 제조기술 기술이전

기사입력 2016-01-11 12:49:25

[산업일보]
왜 어려움을 무릅쓰고 탄화규소 반도체를 개발하려고 애쓸까. 탄화규소(SiC)는 탄소와 규소가 1:1로 결합된 화합물이다. 다이아몬드 다음으로 단단하고 실제 다이아몬드처럼 투명하다. 반도체 물질이지만 보석이나 다름없다.

탄화규소는 보석처럼 단단하고 화학약품에도 끄떡도 않으니 가공하기 무척 어렵다. 한마디로 반도체 칩으로 만들기 까다롭고 어렵다는 뜻이다. 반도체 제조의 출발물질인 고품질의 단결정 및 박막 제조 등이 어려워 일부 해외 선진 기업들에서만 연구돼 왔다. 특히 고가의 원료물질과 새로운 소자공정의 개발이라는 한계로 인해 현재까지도 SiC 전력반도체를 양산한 곳은 전세계적으로 미국의 크리(Cree), 독일의 인피니온(Infineon), 일본의 롬(Rohm) 등 극소수에 머물고 있다. 하지만, 성공만 한다면 탄화규소 반도체는 프리미엄급 반도체이다. 그것도 큰 전력을 제어하는 분야에서는 아주 매력적인 반도체다. 탄화규소 전력반도체 세계시장 규모는 2014년 기준으로 1억 4천600만 달러(약 1천670억 원) 규모이지만 고속 성장으로 2020년에는 10억 9천500만 달러(약 1조 2천590억 원)에 이를 것으로 전망된다. 특히 응용분야 중에서도 자동차용(HEV/EV) 성장 속도가 가장 빨라 2020년에는 자동차용 세계시장 규모는 2억7천100만 달러에 이를 것으로 예상된다.

전기차 핵심부품
전압과 전류를 조절하는 역할을 하는 전력반도체는 정보를 저장하는 메모리 반도체가 인체의 두뇌에 해당한다면 전력반도체는 일을 하는 근육에 해당한다. 전력이 크게 필요할수록, 시스템의 경량화·소규모화가 중요한 분야일수록 효율적인 전력반도체가 필요하며, 이에 따라 탄화규소 전력반도체가 전기 자동차 분야의 핵심 부품으로 관심을 받고 있다.
전기차의 에너지 효율을 획기적으로 올릴 수 있는 핵심부품기술이 국내 연구진의 끈질긴 노력 끝에 개발돼 국내 전문기업에 이전된다.
한국전기연구원(KERI, 원장 박경엽, 이하 ‘전기연’)은 메이플세미컨덕터㈜(대표 박용포)와‘탄화규소(SiC) 전력반도체 기술’ 이전 계약을 체결했다고 밝혔다. 기술료는 착수기술료 11억 5천500만원에 향후 추가로 매출액 대비 런닝 로열티를 받는 조건으로 전력반도체분야에서는 최대 규모다.
메이플세미컨덕터㈜는 향후 이 기술이 양산화 되면 연간 국내매출만 500억 원 이상, 해외 매출액은 약 1천 500억 원까지도 가능할 것으로 기대하고 있다.
자동차용 핵심부품으로 탄화규소 전력반도체가 주목받고 있는 것은 탄화규소의 경우 물성이 좋아, 기존 실리콘 반도체에 비해 전력을 덜 사용하고, 열도 거의 발생하지 않기 때문이다.
전기차에 이를 적용하면 반도체 자체도 고효율일 뿐 아니라 열이 거의 발생하지 않아 냉각장치의 무게와 부피까지 줄일 수 있어 연비(에너지효율)를 크게 올릴 수 있다.
기술을 이전받은 메이플세미컨덕터(주)의 박용포 대표 역시 탄화규소 전력반도체를 전기자동차용 반도체의 주역으로 보고, 양산화를 준비하고 있다.
탄화규소 전력반도체는 현재 실리콘(규소) 반도체가 장악 하고 있는 연간 18조원 규모의 세계 전력 반도체 시장에 진입하는 단계에 불과하지만, 일본 등 선진 자동차업계는 이미 탄화규소 전력반도체에 주목해 1990년대부터 연구를 진행해왔다.
이 분야에서 가장 앞서있는 도요타는 프리우스 3세대 모델에 탄화규소 전력반도체를 채용해 전체 연비를 5% 향상시킨 바 있으며 5년 안에 연비(에너지효율)를 10% 이상 향상시킨 전기차를 양산하겠다는 계획이다.
우리나라의 전력반도체 연구는 1990년대부터 시작됐으나, 이미 세계 최고를 달리고 있는 메모리반도체와 달리 연구 환경이 열악했던 것이 사실이다. 이에도 불구하고 국내 기술로 전력반도체 제조 원천기술을 개발할 수 있었던 데에는 전기연구원에 16년간 외길로 매진해 온 연구팀(전력반도체연구센터)이 있었기 때문이다.
전기(연)은 출연(연) 원천기술연구의 일환으로 1999년부터 전력 반도체 관련 과제를 꾸준히 수행해왔다.
특히 10여년의 연구에도 시장이 형성되지 않아 어려움이 있었음에도 탄화규소 반도체 연구를 중단하지 않고 2012년부터 연간 20억원씩 적극 지원한 전략이 결실을 맺었다.
이전에는 미국, 프랑스 등에서만 가능하던 전력반도체 제조의 핵심기술인 고온 이온주입 기, 칩면적과 전력소모를 크게 줄인 다이오드 기술, 고전압 트랜지스터(MOSFET) 기술 등 그간 전기(연)이 축적해온 전력반도체 관련 기술이 집약돼 있다.
기술이전은 미래부의 출연금 사업을 통한 성과로 이뤄졌으며, 미래부는 향후 출연(연)이 안정적 예산을 통해 모험적인 연구, 국가 경제를 이끌어갈 수 있는 원천 연구를 수행할 수 있도록 지속적으로 지원할 계획이다.
전기연구원 전력반도체연구센터 김남균 센터장은 “그간 연구중단 위기가 여러 차례 있었다. 출연(연)이었기에 가능했던 16년이었다” 면서, “장기 원천 연구에 대한 신념을 가지고 지속적인 기회를 주신 것에 감사하며, 전력반도체 연구 분야의 세계 1등을 위해 노력할 것”이라고 말했다.

연구배경
-. 왜 어려움을 무릅쓰고 탄화규소 반도체를 개발하려고 애쓰는가?
▲ 탄화규소(SiC)는 탄소와 규소가 1:1로 결합된 화합물이다. 다이아몬드 다음으로 단단하고 실제 다이아몬드처럼 투명하다. 반도체 물질이지만 보석이나 다름없다.
탄화규소는 보석처럼 단단하고 화학약품에도 끄떡도 않으니 가공하기 무척 어렵다. 한마디로 반도체 칩으로 만들기 까다롭고 어렵다는 뜻이다.

물성이 뛰어나지만, 반도체 제조의 출발물질인 고품질의 단결정 및 박막 제조 등이 어려워 일부 해외 선진 기업들에서만 연구돼 왔다. 특히 고가의 원료물질과 새로운 소자공정의 개발이라는 한계로 인해 현재까지도 SiC 전력반도체를 양산한 곳은 전세계적으로 미국의 크리(Cree), 독일의 인피니온(Infineon), 일본의 롬(Rohm) 등 극소수에 머물고 있다.
하지만, 성공만 한다면 탄화규소 반도체는 프리미엄급 반도체이다. 그것도 큰 전력을 제어하는 분야에서는 아주 매력적인 반도체이다.
탄화규소 반도체는 같은 두께의 실리콘에 비해 약 10배의 전압을 견뎌낼 수 있다. 이는 10분의 1 두께만으로도 실리콘과 동등한 전압을 제어할 수 있다는 뜻이고 그만큼 전기저항이 작아져 실리콘에 비해 전력손실(열 발생)이 거의 없다. 그러니 탄화규소 전력반도체로 전기차 인버터를 만들면 실리콘 반도체를 사용한 것보다 전력손실도 줄고 무거운 냉각장치를 줄이거나 아예 없앨 수 있다. 전력손실도 줄이고 차제 중량도 줄어드니 이중으로 에너지 효율을 높일 수 있다. 탄화규소 반도체가 다가오는 전기차 시대의 핵심 경쟁력으로 떠오르고 있는 이유다.

-. 자동차 업계에서 탄화규소 반도체를 주목하는 이유
▲ 2000년대 이후 전 세계 기후변화 및 화학연료의 고갈문제 등으로 화학연료를 이용한 자동차에 대한 수요가 줄어들고 하이브리드 및 전기차에 대한 각국의 관심이 높아지고 있다. 미국, 일본, 독일 등에서는 전력반도체 특히 신소재를 이용한 고효율, 고출력의 전력반도체 개발과 상용화에 박차를 가해 왔고 최근에 들어 조금씩 성과를 내고 있는 실정이다. 특히 전기차에서의 고효율, 고출력 전력반도체는 단순한 차량 성능 향상을 위한 선택의 문제가 아니라 이미 규제 대상이 된 배기가스 억제, 연비향상 등을 달성하기 위한 필수불가결한 해결책으로 떠올랐다.
이런 배경에서 연비 1% 향상을 위한 자동차 업계의 전방위적인 노력은 상상을 초월한다. 그런데 전기차나 하이브리드 차에서 실리콘 전력반도체를 단지 탄화규소 전력반도체로 대체하는 것만으로 무려 5%의 연비(에너지효율) 향상 효과를 보았다면? 믿기지 않지만 사실이다.

자동차용 탄화규소 반도체 개발에 가장 앞선 업체가 도요타 자동차인데 최근 프리우스 모델에 탄화규소 전력반도체를 사용해 무려 5%의 연비가 향상되는 성과를 거두었다고 발표했다(※2015년 10월 이태리 시칠리에서 개최된 국제 탄화규소학회, 약칭 ICSCRM). 즉, 도요타는 프리우스 3세대 모델에 탄화규소 전력반도체를 채용한 인버터를 시험한 결과 차량의 전력시스템 손실을 무려 80%나 줄였고 궁극적으로 자동차 연비를 약 5% 향상시켰다고 발표했다. 도요타는 탄화규소 전력반도체를 장착해 현재 기술보다 연비를 최고 10% 이상 향상시킨 하이브리드차, 전기차를 5년 내 양산한다고 공언하고 있다.
국내 자동차 제조업체도 자체적으로 탄화규소 전력반도체 연구개발을 수년전부터 진행하고 있는 것으로 알려져 왔다. 현대자동차는 2015년 11월 국내에서 개최된 한 학술대회(한국세라믹학회 추계학술대회 ‘SiC 반도체 재료와 소자’ 심포지움)에서 탄화규소 다이오드의 개발결과를 처음으로 발표했다. 비록 후발 주자이지만 현대자동차가 탄화규소 전력반도체 개발에 의미있는 진전을 이룬 것으로 보인다. 그러나 자동차에 직접 적용하려면 반도체 특성의 향상은 물론이고 여러 개의 반도체 칩을 집적해 패키지하는 이른바 전력용 모듈 기술도 발전시켜야 하는 과제가 남아있다.
KERI가 개발해 이전하는 기술이 메이플세미컨덕터㈜에서 상용화되면 국내 자동차 업체의 경쟁력 향상에 직접적으로 기여할 전망이다. 더욱이 전 세계 시장으로 진출한다면 프리미엄 전력반도체 시장에서 20% 이상 점유율도 가능하지 않을까 기대한다.

-. 연구를 시작한 계기나 배경은?
▲ 탄화규소는 실리콘에 비해 물성은 너무나 뛰어난데, 한 마디로 너무 까다롭고 갈 길이 멀어보였다. 뭐랄까 백리길 가시밭 속에 있는 이상향이랄까...어렵고 힘들 것이라는 점에 이끌렸다.

-. 연구 전개 과정에 대한 소개
▲ 우리나라의 2000년대 초반 연구 환경이 탄화규소를 다루기에는 너무나 척박했다. 아주 기초적인 소자 기능을 구현하기까지 몇 년이 걸렸다. 요즘이야 대학원 학생을 잘 교육시키면 몇 달 만에도 기초소자를 만들어낸다. 처음에는 다이오드부터 시작했다. 다이오드 기술이 어느 정도 성취되면 트랜지스터 연구를 했다. 트랜지스터 기술이 어느 정도 올라가면 다시 좀 더 고난도의 다이오드, 그 다음엔 또 더 고성능의 트랜지스터 이런 식으로 기술을 쌓아나갔다. 특히 탄화규소의 재료공학적인 결함문제가 지금까지 오랜 이슈였는데 결정적으로 우리 센터가 재료공학에 강점을 갖고 있어서 그 덕을 좀 봤다.

-. 연구하면서 어려웠던 점이나 장애요소가 있었다면 무엇인지? 어떻게 극복(해결)했는지?
▲ 장애요소는 한두 가지가 아니지만 과학기술자 입장에서 두 가지만 언급하고 싶다. 첫째, 부실한 연구 인프라 문제다. 지금도 탄화규소 반도체를 팹-인(fab-in, 소자 제작을 시작하는 것)부터 팹-아웃(fab-out, 소자 제작을 완료하는 것)까지 한 장소에서 가능케 하는 연구기반(인프라)이 없다. 이 분야 기술선진국인 미국과 일본은 정부 주도로 탄화규소 반도체 전용 팹을 만들어 연구개발을 지원하고 있다. 미국 에너지부는 2014년부터 ‘파워 아메리카’ 프로그램을 시작해 탄화규소 반도체 전용 팹을 국가 주도로 구축하고 있다. 일본 정부도 연구도시인 쯔꾸바 시에 ‘쯔꾸바 파워 일렉트로닉 센터(TPEC)’라는 탄화규소 반도체 전용 팹을 운영하고 있다. 우리 센터로서는 이런 나라들과 경쟁을 해야 하니 참 힘들다. 그나마 최근에 부산시에서 탄화규소 전용 팹을 구축한다고 정부예산을 신청 중이다. 연구자 입장에서는 정말 고마운 일이다. 2019년 완공 목표로 한다니 꼭 성공하기를 소원한다.
둘째, 하나의 토픽으로 오래 연구를 지속하기가 어렵다. 우리가 천착한 기술이 여간 어려운 게 아니어서 참 오랜 기간이 소요됐다. 당장에 제품화가 되지 않는 연구를 수행하다 보니 연구 중단의 위기 등 어려움도 많았다. 이 분야 연구는 3년, 5년 해서는 제대로 된 성과가 나올 수 없다고 생각한다. 이 분야에 연구비를 더 지원해 달라고 하면 “박사님, 이 테마 지난번에 한번 하신 것 아녜요?” 하면서 우선순위를 확 낮춘다. 심화된 목표와 축적된 내용은 보지 않고 단지 ‘한 번 써먹은 테마’ 취급을 당한다.
뒤돌아보면 연구가 중단될 뻔한 고비가 무척 많았다. 그렇지만 지난 16년 동안 전기연구원 주요사업으로 몇 차례의 지원을 받았다. 특히 최근(2012년)에 연구장비 구축에 약 40억 원이라는 큰 연구비를 지원받았는데, 그게 이번의 기술이전이라는 열매를 맺는데 주효했다. 나는 전기연구원이라는 정부출연연구기관에 몸담고 있다는 덕을 본 셈이고 이제 조금은 빚을 갚은 느낌이다.

-. 이번 성과, 무엇이 다른가?
▲ 우리나라가 반도체 선진국인 건 맞다. 그런데 그건 메모리 반도체에 국한된 얘기다. 전력반도체 분야로 초점을 맞추면 세계 20위 안에 우리나라 국적기업이 없다. 선진국은 커녕 중진국이라고 할 수 있을지조차 모르겠다. 그런데 세계적인 조류를 보자. 신재생 에너지와 같은 새로운 전원(電源), 전기자동차와 같은 새로운 전력수요의 대두 등으로 전력반도체 신규 시장은 그야말로 폭발적으로 성장 중이다.
우리가 개발한 탄화규소 반도체는 프리미엄 반도체이다. 탄화규소는 전력반도체의 패러다임을 바꿀 수 있다. 기존의 실리콘 반도체로서 계속 경쟁한다면 우리나라 국적기업에게는 거의 기회가 없을 것이다. 그러나 새롭게 형성되는 탄화규소 전력반도체 시장이라면 우리에게도 기회는 충분히 많다. 전기연구원이 개발한 기술이 우리나라가 전력반도체 선진국으로, 또 국적기업이 세계 5대 기업으로 도약하는데 필수 자양분이 될 것으로 확신한다.

-. 꼭 이루고 싶은 목표와, 향후 연구계획은?
▲ 우선, 우리 기술을 전수받은 기업이 양산화에 성공하는데 온 힘을 보태는 것이다. 우리 기술이 세상으로 나아가 사회에 기여하는 것을 꼭 볼 것이다. 향후 연구계획은 단기적으로는 칩 면적을 더 줄일 수 있는 기술을 개발하는 것이고 장기적으로는 소자 하나가 수만 볼트의 전압을 견뎌낼 수 있는 슈퍼 고전압 반도체를 개발하는 것이다.

-. 탄화규소 반도체가 극복할 점 그리고 향후 전망
▲ 탄화규소의 우수한 특성만 보면 당장 실리콘 반도체 시대가 끝날 것만 같다. 그러나 실리콘 시대는 쉽게 사라지지는 않을 것이다. 탄화규소에게도 약점이 있기 때문이다. 크게 두 가지로 요약된다.
첫째, 비싸다. 출발 물질도 비싸고 제조비용도 실리콘보다 비싸다. 우선 탄화규소 웨이퍼는 매우 비싼 공법으로 만들어진다. 약 2,400℃의 초고온에서 단결정을 성장시킨다. 또한 다이아몬드 다음으로 단단하니 얇은 판상의 웨이퍼로 가공하기 어렵다. 반도체 제조비용은 실리콘과 거의 유사한 수준이지만 적어도 싸지는 않다.
둘째, 탄화규소는 재료 내부의 결함이 너무 많다. 지난 20년간 엄청나게 줄어들었지만 아직은 실리콘보다 훨씬 결함을 많이 갖고 있다. 결함이 많다보니 웨이퍼 당 살아남은 칩의 개수가 상대적으로 적다. 이 역시 가격이 비싸지는 요인으로 수렴된다.
위의 두 가지 핵심 요인이 반영돼 현재 탄화규소 반도체 칩 가격은 동등 성능의 실리콘보다 약 2∼5배 정도 비싸다. 시장경제 체제에서 값이 비싸다는 것만큼이나 치명적인 약점은 없다.
탄화규소가 ‘비싸다’는 결정적인 약점에 대해 개발자들은 낙관적이다. 대량수요에 의한 대량생산으로 웨이퍼 가격이 지속적으로 내려가고 있다. 결함도 줄어들고 있다. 특히 2013년에 직경 6인치 웨이퍼가 출현했고 2020년 경 8인치 웨이퍼도 등장할 것으로 예상된다. 일반적으로 더 큰 웨이퍼를 사용할수록 칩당 가격이 저렴해진다.
가격 결정 요소 중에서 간과할 수 없는 탄화규소의 결정적인 장점은 두 가지다.
첫째는, 실리콘에 비해 1/2∼1/5 면적으로도 실리콘과 동일한 성능을 낼 수 있다. 즉 같은 면적의 웨이퍼에서 실리콘보다 탄화규소 칩 수가 2∼5배 많이 생산될 수 있다. 그만큼 가격이 인하될 수 있다.
둘째는, 탄화규소 전력반도체를 사용하면 전체 시스템의 부피나 무게를 줄일 수 있다. 탄화규소 반도체를 사용하면 냉각장치를 줄이거나 없앨 수 있는 점이 대표적이다. 되로 주고 말로 받는 셈이다.
셋째는, 역시 따라올 수 없는 우수한 특성이다. 이는 에너지 효율과 직접적인 연관이 있다. 예를 들어 어느 수준 이상의 효율을 발휘하는 전력 시스템에는 탄화규소가 반드시 필요하다.
종합하면, 현재 탄화규소는 실리콘보다 몇 배 비싸다. 그 가격차는 시간이 지남에 따라 현저히 줄어들 것으로 보이지만, 가격 차이 때문에 저렴한 가격이 우선인 저가 전기전자 제품에는 앞으로도 쓰이지 않을 가능성도 있다. 하지만 프리미엄급 효율이 필요한 전기자동차 같은 시스템에서는 절대적으로 선호될 수밖에 없다. 효율이 높으면 투자회수 기간이 짧아지는 신재생 에너지산업에서도 탄화규소가 유망하다. 에너지 효율 기준은 시간이 지날수록 규제의 벽이 높아진다. 그런 점에서 ‘고효율’을 확실하게 보장하는 탄화규소 반도체의 미래는 무척 밝다.

탄화규소
탄화규소는 SiC(에스아이씨) 또는 Silicon carbide로 표기하기도 한다.
탄화규소는 실리콘(Si)과 탄소(C)가 일대일로 결합된 화합물로, 다이아몬드 다음으로 단단한 물질이다. 단단한 특성을 이용해 지금까지는 반도체 재료보다는 주로 사포나 숫돌 등 연마용 재료로 사용돼 왔다.
반도체로 사용하기 위해 약 2,400℃의 초고온에서 단결정을 만든 후에 얇게 절단해 웨이퍼로 사용한다. 단결정 탄화규소 웨이퍼는 투명하다.

탄화규소 반도체를 사용하면 왜 전기차 효율이 높아지는가?
전기차의 인버터 내의 전력반도체가 전력을 제어하는 동안 전기다리미만큼의 큰 열이 발생한다. 전력반도체에서 열이 발생하면 그만큼 에너지 효율이 낮아지고 자동차에 무거운 냉각장치를 달아야 한다.(모터를 돌리는데 필요한 전력이 열로 변해 못쓰게 된 것이므로 그만큼 효율이 낮아진다) 탄화규소 반도체는 같은 두께의 실리콘에 비해 약 10배의 전압을 견뎌낼 수 있다. 이는 실리콘의 10분의 1 두께로 같은 수준의 전압을 견딘다는 뜻이다. 두께가 줄어든 만큼 전기저항이 작아지므로 탄화규소는 실리콘에 비해 전력손실(열 발생)이 거의 없다.

따라서 탄화규소 전력반도체로 전기차의 인버터를 만들면 실리콘 반도체를 사용한 것보다 전력손실을 크게 줄일 수 있다. 열 발생이 확 줄어드니 무거운 냉각장치를 줄이거나 아예 없앨 수 있다. 정리하면 탄화규소 반도체는 전기차 배터리의 전력을 덜 쓰게끔 하고, 거기에 더해 전기차의 무게와 부피도 줄이므로 자동차의 에너지 효율을 크게 높일 수 있다.

이온주입이란?
이온주입(Ion implantation)의 개념
반도체 웨이퍼의 표면을 뚫고 들어갈 만큼 큰 에너지를 갖도록 전기장으로 이온을 가속해 반도체 웨이퍼 내부로 넣어 주는 것으로 탄화규소 내부의 불순물 확산속도가 극단적으로 낮아서 실리콘 반도체 공정에서 널리 사용되는 ‘확산공정’이 불가능하다. 이온주입 공정이 탄화규소에서 p-형 혹은 n-형 불순물을 투입할 수 있는 거의 유일한 방법이기 때문에 이온주입은 탄화규소 반도체 제조를 위한 필수적인 공정이며, 이 과정에서 반도체의 전기적 특성이 사실상 결정된다.

똑같은 에너지로 주입하더라도 실리콘(왼쪽)보다 탄화규소(오른쪽)에 더 얕게 들어가는데, 이는 탄화규소의 결합력이 더 강하기 때문

왜 탄화규소는 고온에서 이온을 주입하는가?
공유결합 탄화규소는 원자간 결합력이 강해 이온주입을 하면 격자 손상 정도가 지나쳐 열처리를 하더라도 격자 회복이 어렵다. 탄화규소를 수백도로 가열하면 격자간 간격이 미세하게나마 넓어지고 결합력이 다소 약해져 이온주입을 하더라도 격자의 손상 정도가 경감된다. 이러한 원리에서 약 500℃ 이상의 범위에서 이온주입한다..
한국전기연구원은 국가 주요사업으로 고온·고에너지 이온주입 장치를 2013년에 설치, 운영하고 있다((관련사업명: 차세대 전력용 반도체 핵심기술 개발)). 고온에서 주입하는 기술뿐만이 아니라 이온주입 전(前)공정과 후(後)공정 기술을 동시에 개발해 탄화규소 반도체 연구개발과 시작품 개발에 활용(국내 산학연에 연간 100회 이상의 기술 지원) 된다. 이전에 미국, 프랑스 등 외국에서만 가능하던 핵심공정을 국내에서 가능케 해 시간적 손실을 줄였을 뿐만 아니라 소자 설계 내용이 외국기관에 공개되는 문제들을 해결해 국내 산학연의 기술이 외국에 노출되지 않고 지근거리에서 기술 지원하는 역할을 수행중이다. 고온 이온주입 기술 구축에 미래창조과학부가 정부출연금을 지원하고 있다.

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홍보영 기자 papersong@kidd.co.kr

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산업1부 홍보영 기자입니다. 국내외 무역과 로봇, IoT, 기계·금형산업에 대한 참 소리를 전합니다.^^