니콘의 이클립스(Iclipse) L300 시리즈 니콘(Nikon)은 렌즈 기술의 성과와 경험으로 현미경 렌즈 사업 분야에서도 활발히 활동 중이다. 최근 니콘은 차세대 반도체 개발을 위해 나노 기술을 연구하고 있으며, 극자외선, X선, 전자빔을 활용한 포토리소그래피 장비들에 관한 특허들을 출원했으며, 반도체 관찰 현미경에도 주력하고 있다. 니콘은 이번 전시회에서 ARF소스를 사용해 60나노미터 회로선폭 이하 제조공정용 반도체 300㎜용 노광장비인 `NSR-S308F'와 이클립스(Iclipse) L300, L300D를 선보였다.이클립스는 샘플 최대 사이즈는 지름 300mm 웨이퍼이며, 스테이지 스트로크는 354x302mm 이다. L300 시리즈는 최소의 플레어로 높은 콘트라스트를 제공하며, 포커스 타겟을 쉽게 이동할 수 있다. 0도에서 30도를 제어하는 3안 현미경 접안 렌즈 튜브가 기울여지고, 반도체 정전기를 막아 줄 강력한 안전장치가 부착되어 있다. 미디어다아라 김민수 기자(kms@daara.co.kr) $$$$$

니콘의 이클립스(Iclipse) L300 시리즈

기사입력 2005-02-02 15:37:54

[산업일보]
니콘(Nikon)은 렌즈 기술의 성과와 경험으로 현미경 렌즈 사업 분야에서도 활발히 활동 중이다. 최근 니콘은 차세대 반도체 개발을 위해 나노 기술을 연구하고 있으며, 극자외선, X선, 전자빔을 활용한 포토리소그래피 장비들에 관한 특허들을 출원했으며, 반도체 관찰 현미경에도 주력하고 있다.

니콘은 이번 전시회에서 ARF소스를 사용해 60나노미터 회로선폭 이하 제조공정용 반도체 300㎜용 노광장비인 `NSR-S308F'와 이클립스(Iclipse) L300, L300D를 선보였다.

이클립스는 샘플 최대 사이즈는 지름 300mm 웨이퍼이며, 스테이지 스트로크는 354x302mm 이다. L300 시리즈는 최소의 플레어로 높은 콘트라스트를 제공하며, 포커스 타겟을 쉽게 이동할 수 있다. 0도에서 30도를 제어하는 3안 현미경 접안 렌즈 튜브가 기울여지고, 반도체 정전기를 막아 줄 강력한 안전장치가 부착되어 있다.

미디어다아라 김민수 기자(kms@daara.co.kr)

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