KLA텐코, 최신 광학 CD 측정 시스템 처리량 2배 향상…디바이스 성능 및 수율 초기 예측 가능 KLA텐코(지사장 홍완철)는 30일, 최신 광학 CD 측정 시스템인 스펙트라(Spectra)CD-XT를 선보였다.현재 공급중인 이 제품은 인라인(in-line) CD 및 프로파일 측정 솔루션을 제공, 90nm 및 65nm 노드에서 IC 성능 및 수율을 조기에 예측할 수 있도록 설계됐다.KLT테코 관계자는 “신제품은 2초 이내의 MAM(move-acquire-measure) 시간을 사용하는 분광타원해석법(SE : spectroscopic ellipsometry)에 기반하고 있으며 자사의 기존 버전 플랫폼과 동일한 성능을 제공하면서 처리량은 2배 이상 향상(100wph 이상)됐다.”고 말했다.또한 CD를 비롯한 중요한 프로파일 정보를 제공할 수 있어 양산 환경에 이상적이어서 상위 10대 칩 제조업체 중 9개 업체가 사용할 만큼 업계에서 성능을 인정받고 있다고 덧붙였다.미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)$$$$$

KLA텐코, 최신 광학 CD 측정 시스템

처리량 2배 향상…디바이스 성능 및 수율 초기 예측 가능

기사입력 2006-03-30 18:21:55

[산업일보]
KLA텐코(지사장 홍완철)는 30일, 최신 광학 CD 측정 시스템인 스펙트라(Spectra)CD-XT를 선보였다.

현재 공급중인 이 제품은 인라인(in-line) CD 및 프로파일 측정 솔루션을 제공, 90nm 및 65nm 노드에서 IC 성능 및 수율을 조기에 예측할 수 있도록 설계됐다.

KLT테코 관계자는 “신제품은 2초 이내의 MAM(move-acquire-measure) 시간을 사용하는 분광타원해석법(SE : spectroscopic ellipsometry)에 기반하고 있으며 자사의 기존 버전 플랫폼과 동일한 성능을 제공하면서 처리량은 2배 이상 향상(100wph 이상)됐다.”고 말했다.

또한 CD를 비롯한 중요한 프로파일 정보를 제공할 수 있어 양산 환경에 이상적이어서 상위 10대 칩 제조업체 중 9개 업체가 사용할 만큼 업계에서 성능을 인정받고 있다고 덧붙였다.

미디어다아라 김원정 기자(news@daara.co.kr)

KLA텐코, 최신 광학 CD 측정 시스템

처리량 2배 향상…디바이스 성능 및 수율 초기 예측 가능

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