반도체 제조장비 국가 표준 추진

[산업일보]
지식경제부 기술표준원(허경 원장)은 반도체생산 세계 3위 국가의 위상에 걸맞는 반도체 제조장비의 안전성 확보를 위해, 「반도체 제조장비의 안전지침」에 대한 국가표준안을 마련하고 엘센터(양재역 7번출구)에서 KS 공청회를 개최한다고 밝혔다.

반도체 제조장비의 안전에 관한 국제표준(IEC)이 제정(‘09.12)됨에 따라 조기 국가표준의 도입을 위해 산·학·연의 관련전문가로 구성된 ‘표준전문위원회’에서 심도있는 검토를 거쳐 지난 6월 23일부로 KS제정 예고 고시한 바 있다.

현재, 국내 반도체 제조를 위한 관련장비 중 주로 핵심장비는 해외 수입 비중이 높고 후공정 및 테스트장비 위주로 국내 장비업체에게 생산하고 있는 실정이며, 제조장비의 안전성 확보를 위해 노동부의 안전인증(S-마크)과 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 단체표준, 유럽표준 등을 인용하면서 조금씩 다른 표준이 적용되어 왔다.

제정 예정인 ‘반도체 제조장비의 안전지침’은 국제표준(IEC)에서 제시하는 반도체 제조장비가 갖추어야 할 전기적 안전 요구사항뿐만 아니라, 반도체 제조장비의 특성에 따른 위험(화학물질, 전리방사선 등)의 주요내용을 포괄적으로 규정하고 있어 반도체 제조장비의 종합적인 안전요구사항으로 활용될 수 있을 것으로 보인다.

제조장비의 전기적 안전 요구사항은 비상차단(EMO), 연동회로(인터록) 등 국제표준(IEC)의 주요 내용과 일치하도록 하였으며, 반도체 제조장비에 사용되는 화학물질의 안전관리 요구사항, 전리 및 비전리 방사선에 대한 한계기준 등을 추가하여 제시함으로써, 장비업체들이 보다 안전한 장비의 설계· 제작을 유도하고 있다.

기술표준원은 반도체 제조장비의 국산화율이 낮은 상황으로 관련 제조장비의 개발에 따른 안전표준의 적용을 유도하는 한편 국내 개발된 반도체 제조장비의 안전성 확보를 통해 국제 경쟁력을 높이겠다고 밝힌 가운데 이번 KS 공청회를 통해 관련 산업계 등 전문가의 의견을 폭넓게 수렴하여 8월말 국가표준으로 제정할 계획이다.