심층기획 반도체 산업, 고도화한 감지 장치로 안전망 ‘강화’

[산업일보]
반도체는 먼지를 최소화한 클린룸(Clean Room)에서 다양한 가연성, 독성을 가진 가스를 사용해 제조한다.

공정에 사용하는 가스는 누출 시 화재 사고 발생 및 근로자 건강에 위해를 가할 수 있기 때문에, 누출 상황을 바로 감지할 수 있는 가스 감지 장치의 설치가 필수적으로 요구된다.

이에 산업안전보건법, 화학물질관리법, 소방기본법 등 법안 또한 반도체 제조 공장 내에서 가스 감지기, 누액 감지기, 불꽃 감지기 등 안전 감지 시스템 설치를 의무화하고 있다.


오감지율 낮추는 ‘간섭 가스 필터링’ 기술

최근 반도체 기술은 거듭 발전하고 있다. 이와 함께 제조 현장에서 사용하는 가스의 종류도 많아지고 있어, 그 중 유해 가스만을 정확하게 선별할 수 있는 기술이 필요하다.

지난 9일부터 11일까지 코엑스(COEX)에서 개최한 반도체 전시회 ‘세미콘코리아 2022(SEMICON KOREA 2022)’에는 신기술을 적용한 안전 감지 시스템으로 산업현장을 보호하고 있는 기업들이 참가했다.

가스 감지기를 비롯해 각종 산업용 안전기기를 전문으로 개발 및 제조하는 (주)가스트론(Gastron)은 이번 전시회에서 가스의 오(誤)감지율을 낮추는 ‘간섭 가스 필터링 가스감지기’ 시리즈를 선보였다.

간섭 가스 필터링 기술을 적용한 제품들은 웨이퍼 제조, 산화 공정, 포토 공정, 이온주입 공정 등 반도체 8대 공정에서 혼용해 사용하는 물질 중 특정 가스만을 감지할 수 있다.

가스트론의 서윤석 대리는 “그간 산업현장에서 감지기가 의도하지 않았던 가스에 경고를 울려 업무가 중지되는 경우가 있었다”며 “이러한 오작동을 줄이기 위해 정확하게 해당 가스만 잡아낼 수 있는 간섭가스 필터링 기술을 개발했다”고 말했다.

이어, 그는 “최근 안전에 대한 관심이 증가하면서 더욱 고도의 가스 감지 기술이 요구되고 있다”며 “법적 의무사항으로 설치해야 하는 현장 외에도 폐수 처리장, 지하 터널 등 밀폐 공간으로 도입 분야가 넓어지는 추세”라고 덧붙였다.


IoT 기능 탑재…‘스마트 무선 방재 시스템’ 구축

소방·방재 솔루션 전문 기업인 (주)창성에이스산업(CSA)은 이번 전시회에서 IoT(사물인터넷) 기술을 탑재한 '스마트 무선 방재 시스템' 장비를 바이어 등 참관객에게 소개했다.

이 시스템은 무선 방식의 고체에어로졸 소화장치와 불꽃·누액·가스 감지기 등을 하나의 송신 모듈로 연결하고, 관제 센터 혹은 관리자의 휴대폰 어플리케이션으로 관리할 수 있다.

창성에이스산업의 김동욱 이사는 “최근 대부분의 안전 감지 제품에 IoT 기능을 적용하는 방향으로 바뀌고 있다”고 말했다.

김동욱 이사는 “특히, 노후 공장은 사용하고 있는 장비가 이미 많기 때문에 감지 장치를 추가적으로 도입하기 어려운 경우가 많다”며 “무선 센서로 안전 시스템을 구축하면 물리적인 설치가 간단해 비용도 절감할 수 있다”고 했다.

최근 중대재해처벌법 시행 이후 안전 감지 기기와 솔루션에 대한 문의가 증가하고 있다고 전한 김 이사는 “감지 장비들은 이미 산업 현장에 도입돼 있던 터라 매출 증가와 같은 뚜렷한 변화는 없지만, 안전 관리를 강화하는 분위기와 함께 점차 수요도 증가할 것”으로 예상했다.