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산업용 노즐 문제 파악하는 스프레이 분석 시스템
문근영 기자|mgy0907@kidd.co.kr
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산업용 노즐 문제 파악하는 스프레이 분석 시스템

스프레이시스템코리아, 반도체대전에서 노즐 성능 분석 시연

기사입력 2022-10-10 11:07:05
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산업용 노즐 문제 파악하는 스프레이 분석 시스템

산업용 노즐 문제 파악하는 스프레이 분석 시스템

[산업일보]
산업용 노즐을 전문으로 다루는 스프레이시스템코리아가 ‘제24회 반도체대전(SEDEX 2022, SEmiconDuctor EXhibition 2022)’에 참가해 스프레이 패턴(Pattern)을 측정 및 분석하는 ‘모바일 패터네이션 시스템(Mobile Patternation System)’을 전시했다.

이 기업의 유재환 차장은 해당 시스템에 대해 “노즐에서 분사하는 스프레이의 크기, 형태, 분포 등의 정보를 스캔(Scan) 방식으로 얻는다”며 “그래프나 그림으로 나타내 유량을 비교할 수 있다”고 말했다.

노즐 유지 보수나 교체 여부를 판단하기 위한 목적으로 사용한다는 게 유 차장의 설명이다. 그는 노즐이 분사하는 동안 화학 물질, 작동 조건 등의 변화가 분무 패턴에 미치는 영향을 평가해, 스프레이 성능을 비교한다고 했다.

모바일 패터네이션 시스템은 최적의 노즐 배치를 결정하기 위한 가상 오버랩 분석(Virtual Overlap Analysis)도 가능하다. 유 차장은 “노즐을 여러 개 사용하는 경우, 간격이나 높이 조절이 틀어지면 굴곡이 많이 생긴다”면서 “스프레이 패턴을 중첩해 문제점을 파악한다”고 부연했다.

한편 한국반도체산업협회가 주관한 SEDEX 2022는 5일부터 7일까지 일정으로 서울 코엑스(COEX)에서 열렸다.
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산업2부 문근영 기자입니다. 인공지능, 로봇, 환경 등 산업 분야의 중요한 정보를 전달하겠습니다.


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